[实用新型]一种干式真空微系统有效
| 申请号： | 201020239076.7 | 申请日： | 2010-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN201723446U | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 任利民 | 申请（专利权）人： | 任利民 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C18/02 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 200434 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种干式真空微系统，其特征在于，由机座、电机、干式涡旋真空泵、手动阀、真空过滤器以及真空表构成，所述干式涡旋真空泵安装在机座上，所述电机的输出轴与所述干式涡旋真空泵的输入轴连接，所述手动阀一个阀口与所述干式涡旋真空泵的抽气口连接，手动阀的另一个阀口接一三通，所述真空过滤器的出气口接所述三通的一个接口，所述真空表安装在所述三通的另一个接口上。
2.如权利要求1所述的干式真空微系统，其特征在于，所述手动阀通过KF真空快卸法兰与所述干式涡旋真空泵的抽气口连接。
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