[实用新型]多晶硅铸锭炉的气流控制装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉的气流控制装置，所述的多晶硅铸锭炉包括炉体(1)和设置在炉体(1)内的隔热笼(2)，在隔热笼(2)内设有加热器(5)和坩埚(6)，所述的隔热笼(2)顶部设有导气管(3)，其特征在于，导气管(3)与隔热笼(2)上下滑动连接，在炉体(1)上设有升降结构，上述的导气管(3)固接在升降结构上。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的气流控制装置，其特征在于，所述的隔热笼(2)顶部设有出气口(4)，该出气口(4)位于加热器(5)外侧，且接近隔热笼(2)侧壁。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉的气流控制装置，其特征在于，所述的导气管(3)的下端固接有气流导向罩(7)。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉的气流控制装置，其特征在于，所述的气流导向罩(7)为无通孔的平板。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的多晶硅铸锭炉的气流控制装置，其特征在于，所述的导气管(3)采用石墨材料制成。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉的气流控制装置，其特征在于，所述的升降结构包括固定在炉体(1)上的定位导轨(8)，在定位导轨(8)内设有密封波纹管(7)，密封波纹管(7)和导气管(3)之间设有不锈钢导气管(13)，不锈钢导气管(13)的一端与密封波纹管(7)固接，另一端与导气管(3)周向转动连接，密封波纹管(7)外套有连接在定位导轨(8)上的锁定螺母(10)，锁定螺母(10)通过螺纹与密封波纹管(7)连接。

7.根据权利要求6所述的多晶硅铸锭炉的气流控制装置，其特征在于，所述的隔热笼(2)内侧壁设有将隔热笼(2)分隔为上下两个腔体的环形挡块(11)。