[实用新型]多层金属波纹管氦质谱检漏装置

权利要求书

1.多层金属波纹管氦质谱检漏装置，包括氦质谱检漏仪和氦气源，其特征在于检漏密封结构的组合：上法兰和下法兰置于被检波纹管两端，O型橡胶密封圈分别放在上法兰和下法兰的T型面上，外环放置于波纹管两端部的外侧，用于加固波纹管接口和固定上压盖和下压盖，然后把上压盖和下压盖放在O型橡胶密封圈上，用螺钉把上下两部分锁紧，直至密封结构与波纹管直壁内侧之间不松动为止。

2.根据权利要求1所述的多层金属波纹管氦质谱检漏装置，其特征在于密封结构(10)中的部件特征：上法兰(4)和下法兰(6)均为圆柱体，其直径比波纹管内径要小1.4-1.6mm，各自均有一面螺纹孔、外缘有环形缺形成的T型面，下法兰(6)圆心有轴向通孔。

3.根据权利要求1所述的多层金属波纹管氦质谱检漏装置，其特征在于密封结构(10)中的部件特征：圆盘形的上压盖(2)和下压盖(8)均有螺栓透孔，一侧有环凸，环凸内沿宽度与法兰环缺的宽度相当，下压盖(8)圆心有与下法兰(6)圆心孔等径的透孔。

4.根据权利要求1所述的多层金属波纹管氦质谱检漏装置，其特征在于密封结构(10)中的部件特征：密封橡胶垫(11)为有厚度的圆片，圆心有透孔，孔径小于下压盖(8)与下法兰(6)的圆心孔孔径。

5.根据权利要求1所述的多层金属波纹管氦质谱检漏装置，其特征在于密封结构(10)中的部件特征：外环(7)内径小于波纹管外径下限。

6根据权利要求1所述的多层金属波纹管氦质谱检漏装置，其特征在于上压盖(2)、下压盖(8)、O型橡胶密封圈和上法兰(4)、下法兰(6)的尺寸都要与被检金属波纹管相对应。