[实用新型]一种卧式真空镀膜机基片传送机构

说明书

技术领域

本实用新型公开了一种卧式真空镀膜机基片传送机构，属于真空镀膜机械技术领域。

背景技术

传统的卧式真空镀膜机生产线，一般是在常温下对基片表面进行真空镀膜，其基片传送机构，通常是在真空腔中均匀平行布置有多根长轴，长轴上均布有O形橡胶圈，利用O形橡胶圈与基片之间产生摩擦力，实现基片的传送。这种结构的传送装置，在常温真空镀膜的情况下，基本能满足对基片传送的要求；但由于其采用在整根长轴上设置多个O形橡胶圈的结构，当O形橡胶圈使用一段时间，出现磨损，需要更换O形橡胶圈时，必须将整根长轴取出来，再逐个更换O形橡胶圈，工艺复杂，时间长，影响整机的正常工作。特别是当TCO等生产线镀膜工艺出现以后，真空镀膜是在加热的条件下进行，因此，采用O形橡胶圈作为传送件，已不能满足工艺的需要；这是由于O形橡胶圈在高温下容易老化、变形，致使其使用寿命缩短，而更换O形橡胶圈工序复杂、时间长，影响设备的正常运行；同时，由于采用整体长轴的结构，在高温下，长轴容易发生变形，导致传送过程平稳度降低，影响镀膜的均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术之不足而提供一种结构简单、可靠、加工制造容易、基片传送平稳度高、摩擦轮更换方便的卧式真空镀膜机基片传送机构。

本实用新型是采用下述方案实现的：一种卧式真空镀膜机基片传送机构，包括真空镀膜箱体、传动电机、同步长轴、传动轴、同步带、同步轮、摩擦轮，所述同步长轴安装于所述真空镀膜箱体两侧箱板之间并由所述传动电机驱动，所述同步长轴两端各设有一个同步轮；所述传动轴为多个，平行均布在所述真空镀膜箱体两侧箱板上，所述多个传动轴的轴线处于同一直线上；所述每一个传动轴的一端设有所述同步轮，两两相邻的传动轴之间通过所述传动带驱动，所述每一个传动轴的另一端设有所述摩擦轮；所述同步长轴两端设置的同步轮分别通过同步带驱动设于真空镀膜箱体该端侧箱板上的传动轴。

本实用新型中，所述摩擦轮外圆周面上设有与所述摩擦轮同轴线的导向圆环槽或导向圆环台阶，所述导向圆环槽的横截面为半圆弧形，所述圆环台阶的横截面为1/4圆弧形。

本实用新型中，所述摩擦轮由GCr15材料制造。

本实用新型中，所述传动轴通过磁流体密封套安装在所述真空镀膜箱体两侧箱板上。

本实用新型由于采用在真空镀膜箱体两侧箱板上平行均布多个传动轴，并在传动轴的一端设置摩擦轮的结构，利用设于基片架下的两根圆形导轨分别卡装在所述摩擦轮上设置的导向圆环槽或导向圆环台阶之间，通过摩擦轮表面与基片架下设置的圆形导轨接触，产生摩擦力，实现对基片架的传送，进而达到传送置于基片架上的基片的目的；由于将传动轴分别设置在真空镀膜箱体两侧箱板，传动轴端部设置摩擦轮的结构，一方面，当摩擦轮磨损后，需要更换时，只需直接将传动轴端部的摩擦轮拆卸，即可方便的更换摩擦轮，克服了现有技术跟换摩擦器工序复杂、时间长的缺陷，另一方面，由于传动轴分设在真空镀膜箱体两侧箱板上，可以采用长度非常短的短轴，即使在高温环境下，其变形的几率大幅度降低，从而，克服了现有技术中长轴在高温下容易发生变形，导致传送过程平稳度降低，影响镀膜均匀性的缺陷；另外，本实用新型采用磁流体密封套，将传动轴安装在真空镀膜箱体两侧箱板上，一方面，利用磁流体密封套内设置的磁流体密封介质形成真空动密封实现传动轴的密封传动，另一方面，利用磁流体密封套内设置的冷却水循环系统，降低磁流体密封套的温度，有效提高传动轴运转的平稳性及磁流体密封套的高温使用寿命；特别是本实用新型采用一个传动电机驱动同步长轴，然后，通过同步带传动各传动轴，有效保证各传动轴的同步转动，进一步提高基片传送的平稳性。

综上所述，本实用新型结构简单、可靠、加工制造容易、基片传送平稳度高、摩擦轮更换方便，可实现工业化生产，替代现有卧式真空镀膜机生产线的基片传送机构，特别适应于TCO等镀膜生产线的使用。

附图说明

附图1为本实用新型主剖视图。

图中：1--真空镀膜箱体，2--传动电机，3--同步长轴，4--传动轴，5--同步带，6--同步轮，7--摩擦轮。

具体实施方式

本实用新型的具体结构，下面结合附图及实施例详细说明。