[实用新型]一种卧式真空镀膜机基片传送机构有效
| 申请号： | 201020218905.3 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201695081U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;孙桂红;祝海生;郭爱云;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 湘潭市汇智专利事务所 43108 | 代理人： | 魏娟 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 真空镀膜 机基片 传送 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种卧式真空镀膜机基片传送机构，包括真空镀膜箱体、传动电机、同步长轴、传动轴、同步带、同步轮、摩擦轮，其特征在于：所述同步长轴安装于所述真空镀膜箱体两侧箱板之间并由所述传动电机驱动，所述同步长轴两端各设有一个同步轮；所述传动轴为多个，平行均布在所述真空镀膜箱体两侧箱板上，所述多个传动轴的轴线处于同一直线上；所述每一个传动轴的一端设有所述同步轮，两两相邻的传动轴之间通过所述传动带驱动，所述每一个传动轴的另一端设有所述摩擦轮；所述同步长轴两端设置的同步轮分别通过同步带驱动设于真空镀膜箱体该端侧箱板上的传动轴。
2.根据权利要求1所述的一种卧式真空镀膜机基片传送机构，其特征在于：所述摩擦轮外圆周面上设有与所述摩擦轮同轴线的导向圆环槽或导向圆环台阶，所述导向圆环槽的横截面为半圆弧形，所述圆环台阶的横截面为1/4圆弧形。
3.根据权利要求2所述的一种卧式真空镀膜机基片传送机构，其特征在于：所述摩擦轮由GCr15材料制造。
4.根据权利要求3所述的一种卧式真空镀膜机基片传送机构，其特征在于：所述传动轴通过磁流体密封套安装在所述真空镀膜箱体两侧箱板上。
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