[实用新型]一种废水回用为工业超纯水的处理装置

权利要求书

1.一种废水回用为工业超纯水的处理装置，包括：预处理装置(4)、前置活性炭吸附装置(5)、一级反渗透装置(9)、后置活性炭吸附装置(10)、二级反渗透装置(13)和电去离子装置(16)，其特征在于：所述的预处理装置(4)前依次连接有废水箱(1)、加药装置(2)和原水泵(3)，前置活性炭吸附装置(5)和一级反渗透装置(9)之间依次接有阻垢剂添加装置(6)、第一保安过滤器(7)、一级高压泵(8)，一级反渗透装置(9)后连接后置活性炭吸附装置(10)，后置活性炭吸附装置(10)和二级反渗透装置(13)之间依次连接有第二保安过滤器(11)和二级高压泵(12)，二级反渗透装置(13)和电去离子装置(16)间依次连接有纯水箱(14)和纯水泵(15)，电去离子装置(16)后连接有终端滤器(17)和超纯水箱(18)。

2.根据权利要求1所述的废水回用为工业超纯水的处理装置，其特征在于：所述的预处理装置(4)为多介质过滤器、超滤过滤器或膜生物反应器。

3.根据权利要求1所述的废水回用为工业超纯水的处理装置，其特征在于：所述的一级反渗透装置(9)中采用的反渗透膜表面带负电荷或电中性。

4.按照权利要求1所述的废水回用为工业超纯水的处理装置，其特征在于：所述的二级反渗透装置(13)中采用的高脱盐反渗透膜表面带正电荷。

5.根据权利要求1所述的废水回用为工业超纯水的处理装置，其特征在于：所述的电去离子装置(16)为二级电去离子装置，装置内设有串联的第一级流道和第二级流道，第一级流道装填阳离子交换树脂，第二级流道装填混床离子交换树脂。

6.根据权利要求1所述的废水回用为工业超纯水的处理装置，其特征在于：所述的吸附后的后置活性炭吸附装置(10)直接作为前置活性炭吸附装置(5)使用。