[实用新型]一种显影机的喷淋装置无效

专利信息
申请号: 201020193956.5 申请日: 2010-05-18
公开(公告)号: CN201749295U 公开(公告)日: 2011-02-16
发明(设计)人: 李存英;赵顺滨;王彩霞 申请(专利权)人: 深南电路有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 深圳市博锐专利事务所 44275 代理人: 张明
地址: 518053 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 显影 喷淋 装置
【权利要求书】:

1.一种显影机的喷淋装置,包括上给液管、上喷管和喷嘴,上喷管至少为二根,并且横向平行设置,上喷管一端与所述上给液管相连接,另一端封闭,每根上喷管的管壁上至少设置一个所述喷嘴,所述喷嘴均竖直朝下,所有喷嘴形成一个喷淋区,其特征在于:所述喷淋区沿PCB板传送方向的两侧区域的喷嘴分布密度低于中间区域的喷嘴分布密度。

2.根据权利要求1所述的显影机的喷淋装置,其特征在于:所述上喷管为12根,每根上喷管的管壁上设置有2~6个喷嘴。

3.根据权利要求1所述的显影机的喷淋装置,其特征在于:所述每根喷管上喷嘴等间距排布。

4.根据权利要求1所述的显影机的喷淋装置,其特征在于:所述所有上喷管等间距排布。

5.根据权利要求1所述的显影机的喷淋装置,其特征在于:所述喷淋区沿PCB板传送方向的两侧区域的喷嘴的出水孔直径小于中间区域的喷嘴的出水孔直径。

6.根据权利要求1至5任一项所述的显影机的喷淋装置,其特征在于:所述喷淋装置还包括下喷管和下给液管,下喷管至少为二根,并且横向平行设置,下喷管一端与下给液管相连接,另一端封闭,每根下喷管的管壁上至少设置一个喷嘴,所述喷嘴均竖直朝上。

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