[实用新型]具有硅棒预热器的磷检炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有硅棒预热器的磷检炉。

背景技术

多晶硅产品质量情况是通过区熔拉制成单晶(通称“磷检”)后，用国标规定的方法测得电阻率，寿命和导电型号，多晶硅产品的纯度在8N～10N之间。在这过程中，任何的杂质都会影响检测的准确性，误导多晶硅的产品质量。目前在区熔拉制单晶硅过程中，通用的预热方法是采用钼丝缠绕检验棒，高频加热钼丝，通过传热预热检验棒。由于在这个过程中，钼丝温度很高，达700℃～1600℃，金属杂质蒸发，易对检验棒形成表面沾污，熔在检验棒中，影响检验棒本身的质量，导致检测不准确。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够提高检测结果的准确、为避免在加热时钼丝直接接触检验棒而形成的沾污，改传热为辐射加热的具有硅棒预热器的磷检炉。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：具有硅棒预热器的磷检炉，包括炉体、转轴、夹具，转轴一端固定于炉体顶部，另一端位于炉体内并与夹具一端固定连接，夹具另一端为用于固定多晶硅检验棒的夹持部，其特征在于，所述多晶硅检验棒下方设有高频线圈，多晶硅检验棒侧面临近多晶硅检验棒处设有硅棒预热器。

所述硅棒预热器包括呈圆弧状的发热体、套管、连接棒，所述套管形状与发热体相匹配且发热体设置于套管内，连接棒的一端与套管固定连接。

具体地，所述发热体为石墨发热体。

所述套管为石英套管。

所述连接棒为石英连接棒。

所述发热体的弧度为π/3～π。

所述发热体的截面呈矩形且该矩形的尺寸为4×4～20×20mm，套管的外径为8～25mm。

所述连接棒的直径为5～15mm。

所述发热体形成的圆弧所在的圆的内径为30～50mm。

所述炉体上设有操纵杆，操纵杆一端穿过炉体并位于炉体内多晶硅检验棒侧面，所述硅棒预热器通过夹具装置固定于操纵杆上，且硅棒预热器的圆弧状的发热体的凹面朝向多晶硅检验棒。

综上所述，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型以辐射传热的形式加热多晶硅检验棒，用以替换现有技术中采用钼丝缠绕检验棒直接加热，避免了多晶硅在加热过程中，钼丝中金属杂质挥发，沾污多晶硅检验棒，保证检测的准确性。

2、为解决石墨本身的挥发可能对检验棒的影响，本预热器采用耐高温的高纯石英玻璃封套真空密封石墨发热体，使石墨中的杂质不能逸出密封套，沾污多晶硅。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的硅棒预热器的结构示意图；

图3是图1中本实用新型的硅棒预热器的A-A向视图；

图4是发热体的立体结构示意图。

附图中标记及相应的零部件名称：1-磷检炉，2-多晶硅检验棒，3-高频线圈，4-硅棒预热器，5-发热体，6-套管，7-连接棒，8-夹具装置，9-操纵杆，10-转轴，11-夹具，12-下转轴。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

参见图1至图3所示，本实用新型的具有硅棒预热器的磷检炉，包括炉体1、转轴10、夹具11，转轴10一端固定于炉体1顶部，另一端位于炉体1内并与夹具11一端固定连接，夹具11另一端为用于固定多晶硅检验棒2的夹持部，多晶硅检验棒2的一端通过夹持部固定，所述多晶硅检验棒2下方设有高频线圈3，多晶硅检验棒2侧面附近设有硅棒预热器4，硅棒预热器4包括呈圆弧状的石墨发热体5、石英套管6、石英连接棒7，其中，石墨发热体5的弧度为π/3～π，石墨发热体5形成的圆弧所在的圆的内径为30～50mm，且石墨发热体5的截面尺寸为4×4～20×20mm，套管6的外径为8～25mm，以石墨发热体便于装配设置于石英套管内为宜，石英连接棒的直径为5～15mm，所述石英套管6形状与石墨发热体5相匹配且石墨发热体5设置于石英套管6内，石英连接棒7的一端与套管6固定连接。