[实用新型]具有硅棒预热器的磷检炉

权利要求书

1.具有硅棒预热器的磷检炉，包括炉体(1)、转轴(10)、夹具(11)，转轴(10)一端固定于炉体(1)顶部，另一端位于炉体(1)内并与夹具(11)一端固定连接，夹具(11)另一端为用于固定多晶硅检验棒(2)的夹持部，其特征在于，所述多晶硅检验棒(2)下方设有高频线圈(3)，多晶硅检验棒(2)侧面临近多晶硅检验棒(2)处设有硅棒预热器(4)。

2.根据权利要求1所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述硅棒预热器(4)包括呈圆弧状的发热体(5)、套管(6)、连接棒(7)，所述套管(6)形状与发热体(5)相匹配且发热体(5)设置于套管(6)内，连接棒(7)的一端与套管(6)固定连接。

3.根据权利要求2所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述发热体(5)为石墨发热体。

4.根据权利要求2所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述套管(6)为石英套管。

5.根据权利要求2所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述连接棒(7)为石英连接棒。

6.根据权利要求2所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述发热体(5)的弧度为π/3～π。

7.根据权利要求2所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述发热体(5)的截面为矩形且该矩形尺寸为4×4～20×20mm，套管(6)的外径为8～25mm。

8.根据权利要求2所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述连接棒(7)的直径为5～15mm。

9.根据权利要求2所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述发热体(5)形成的圆弧所在的圆的内径为30～50mm。

10.根据权利要求2所述的具有硅棒预热器的磷检炉，其特征在于，所述炉体(1)上设有操纵杆(9)，操纵杆(9)一端穿过炉体(1)并位于炉体(1)内多晶硅检验棒(2)侧面，所述硅棒预热器(4)通过夹具装置(8)固定于操纵杆(9)上，且硅棒预热器(4)的圆弧状的发热体(5)的凹面朝向多晶硅检验棒(2)。