[实用新型]用于物理气相沉积设备的报警装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种物理气相沉积设备。

背景技术

在集成电路中，制造铜导线的方法是以物理气相沉积(Physical VapourDeposition)设备在已沉积的基层上长一层铜层。沉积过程中，先会沉积上一层非金属层作为过渡，通常选择钽(Ta)，然后再在钽层的基础上沉积上一层铜层。

在现有的物理气相沉积设备中，由于多种原因造成的电力短路以及制造厂的供电系统跳电而导致物理气相沉积的设备有时处于断电状态，由于整个物理气相沉积设备无电流供应，所以相关操作人员无法及时获知物理气相沉积设备异常，由于晶圆在沉积过程始终处于高温的状态而断电后会导致工艺温度以及压力的异常，长时间无人处理晶圆将导致晶圆表面氧化，使得晶圆导通层电阻发生变化，严重情况下甚至会造成晶圆报废。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是现有物理气相沉积设备没有报警系统而使得一旦发生机台无电流供应，所以相关操作人员无法及时获知物理气相沉积设备异常，由于晶圆在沉积过程始终处于高温的状态而断电后会导致工艺温度以及压力的异常，长时间无人处理晶圆将导致晶圆表面氧化，使得晶圆导通层电阻发生变化，严重情况下甚至会造成晶圆报废。

一种用于物理气相沉积设备的报警装置，包括：控制器、报警器、工作电源和供电电池，所控制器输入端与工作电源连接于第一节点，所述控制器输出 端与所述供电电池连接于第二节点，所述控制器驱动端与报警器连接于第三节点，所述第二节点和第三节点之间接有转换器。

优选的，所述报警器包括状态指示灯和扩音器。

优选的，所述工作电源额定供电电压为100v～220v交流电压。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、通过在控制器与报警器之间增加设置了供电电池，一方面保证了报警器即使工作电源停止工作同样能够发出警报，另一方面，在平时又可以由机台电源予以补充电力。

2、进一步保证了由于物理气相沉积设备由于多种原因造成的电力短路以及制造厂的供电系统跳电而导致物理气相沉积的设备有时处于断电状态，由于整个物理气相沉积设备无电流供应，所以相关操作人员无法及时获知物理气相沉积设备异常。由于晶圆在沉积过程始终处于高温的状态而断电后会导致工艺温度以及压力的异常，长时间无人处理晶圆将导致晶圆表面氧化，使得晶圆导通层电阻发生变化，严重情况下甚至会造成晶圆报废。

附图说明

通过附图中所示的本发明的优选实施例的更具体说明，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1为本实用新型结构示意图；

具体实施方式

以下将对本实用新型的用于物理气相沉积设备的报警装置作进一步的详细 描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型设计了一种用于物理气相沉积设备的报警装置，图1为本实用新型的结构示意图，所述用于物理气相沉积设备的报警装置100包括：控制器101、报警器102、工作电源103和供电电池104，所控制器输入端与工作电源103连接于第一节点a，所述控制器101输出端与所述供电电池104连接于第二节点b，所述控制器101驱动端与报警器102连接于第三节点c，所述第二节点b和第三节点c之间接有转换器105。