[实用新型]用于物理气相沉积设备的报警装置有效
| 申请号： | 201020161728.X | 申请日： | 2010-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN201678728U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G08B21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 物理 沉积 设备 报警装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于物理气相沉积设备的报警装置，所述报警装置包括：控制器、报警器、工作电源和供电电池，所控制器输入端与工作电源连接于第一节点，所述控制器输出端与所述供电电池连接于第二节点，所述控制器驱动端与报警器连接于第三节点，所述第二节点和第三节点之间接有转换器。
2.根据权利要求1所述用于物理气相沉积设备的报警装置，其特征在于，所述报警器包括状态指示灯和扩音器。
3.根据权利要求1所述用于物理气相沉积设备的报警装置，其特征在于，所述工作电源额定供电电压为100v～220v交流电压。
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