[实用新型]精准定位溅镀机械手

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种精准定位溅镀机械手，尤其涉及一种定位夹具来改进光盘生产线中溅镀单元的溅镀机械手手臂不对称问题。 

背景技术

光存储媒介从CD到DVD，现在发展到BD蓝光光盘，为了增加存储的信息容量，就要不断减小信息记录符的尺寸，这就要求所使用的读取和记录光波的波长必须逐渐缩短，而读取物镜的数值孔径(NA)值不断加大，所以光存储媒介(光盘)使用的波长从CD的780nm到DVD的650nm，发展到BD蓝光光盘则采用了波长为405nm的蓝色激光，而物镜的数值孔径NA值从CD的0.45到DVD的0.6，到BD蓝光光盘物镜则达到了0.85的NA值。 

从上述光存储媒介我们可以看到随着光存储媒介信息容量的不断扩大，其生产光存储媒介的生产技术也蓬勃发展，下以生产BD50的光盘碟片生产系统和DVD9的光盘碟片生产系统为例进行说明。 

介绍一种生产BD50碟片系统：由注塑机注塑出1.1mm厚的基片经冷却皮带冷却后，进行全反射层溅镀，然后旋涂23um的胶水层，UV固化，然后旋涂2um的胶水复制层，进入压模装置，复制信息层，然后进行半反射层溅镀，然后旋涂75um的覆盖层，UV固化，然后旋涂2um的保护层，UV固化，反碟，溅镀SiN防水层，在线检测及分级储存。而另一种典型的生产DVD9碟片系统包括：由一个注塑机制造DVD9的L0基片，另一个注塑机制造DVD9的L1基片，在两个溅镀站中，L0在一个溅镀站中溅镀半反射层，L1在另一个溅镀站中溅镀全反射层，在粘合剂涂布站中LI碟片被涂布一层粘合剂，随后被送到粘合装置，把L0和L1碟片粘合在一起，该粘合装置包括具有自动调整偏心功能和 施加高压静电装置的粘合组件，然后甩干胶水，UV固化，粘合为完整的DVD碟片，最后通过在线检测和成品分级储存。 

随着光盘行业的发展，光盘生产线的生产效率、生产线设备投入成本等因素成为各光盘生产商关心的首要问题，快的生产效率除了需要解决上述各关键环节的工艺之外，光盘碟片的高速、稳定、精确传送系统也至关重要，成为一个不可忽视的技术模块。光盘碟片的传送已经贯穿在整个光盘生产线中并影响着光盘生产线的布局和性能等，进一步影响光盘的性能、品质和生产效率等等。一种用于传送光盘碟片的传送机械手被广泛的应用光盘生产线中。 

以溅镀单元中的用来传送光盘碟片的机械手做进一步的说明。为了便于理解，下文将此机械手统称为溅镀机械手。溅镀机械手1’是由电机11’、电机套臂12’、气缸座13’、气缸14’、盖板15’等组成，具体其连接关系可以参见附图1，溅镀机械手1’承担着传递光盘碟片的作用，具体的是通过溅镀机械手1’的盖板15’的中心真空吸嘴来完成碟片的拿放。因此，溅镀机械手1’上盖板15’位置合适与否会直接影响到生产工艺的好坏。 

通常的，盖板15’、气缸14’、气缸座13’与电机套臂12’之间几乎是通过螺钉进行连接的(盖板、气缸、气缸座组成了溅镀机械手的手臂)。溅镀机械手1’组装完毕后，往往会出现以电机11’为中心，两个拿放碟片的盖板15’不对称的情况，这样，会导致溅镀机械手1’拿放碟片的偏差，严重时还会出现掉碟现象，进而影响光盘后续的溅镀的效果，也影响光盘的品质、生产效率等。 

目前，溅镀机械手手臂上盖板位置的调整工具主要是通过目测，用高度尺和普通碟片等来调整。而现有的目测技术虽然简单但是完全依赖操作者的技术水平，难以保证盖板调节的效果。在溅镀机械手的调试过程中，利用高度尺基本上是可以完成盖板的水平调节，但是无法保证盖板的对称性。 

因此，急需一种精准定位溅镀机械手，该装置是通过一种定位夹具来改善光盘生产线中的溅镀机械手的盖板的位置，以保障盖板处在预期的合适的位置；该装置在提高光盘生产线的生产效率的同时并保证生产质量且成本低。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能提高光盘生产线的生产效率的同时并保证生产质量且成本低的精准定位溅镀机械手。