[实用新型]精准定位溅镀机械手

权利要求书

1.一种精准定位溅镀机械手，包括电机及与电机连接的电机套臂，所述电机驱动所述电机套臂旋转，沿所述电机套臂四周等径等间距的分布有气缸座，每一所述气缸座上均安装有气缸，所述气缸的活塞杆竖直设置，所述活塞杆上可拆卸地安装有具有真空吸嘴的用于拿放光盘的盖板，活塞杆在气缸的作用下作竖直升降运动，其特征在于：还包括对盖板进行安装位置定位的定位夹具，所述定位夹具包括底座，所述底座的中央处开设有安装孔，所述电机的外壳容设于所述定位夹具的安装孔内，所述底座上开设有与所述盖板一一对应的工位孔，所述工位孔以所述安装孔为中心等径等间距地分布，所述工位孔的孔径大于所述盖板的直径，调节所述盖板的安装位置使所述盖板一一对应的收容于所述工位孔中，实现对盖板安装位置的定位。

2.如权利要求1所述的精准定位溅镀机械手，其特征在于：还包括螺钉，所述底座上开设有供螺钉穿过的安装小孔，所述安装小孔以所述安装孔为中心等径分布，所述定位夹具通过所述螺钉与所述电机的外壳固定。

3.如权利要求1所述的精准定位溅镀机械手，其特征在于：所述工位孔的孔径与所述盖板的直径之差小于0.05毫米。