[实用新型]晶片外观检测设备

权利要求书

1.晶片外观检测设备，它包括底板、安装在所述的底板上的供料组件、视觉检测组件和收料组件，其特征在于：所述的视觉检测组件(2)包括其上开有进料孔的进料板(2-1)，所述进料板(2-1)设置在透明载盘(2-7)顶面和供料吸头(1-3)之间，所述的供料吸头(1-3)能够通过所述的第二水平驱动装置对准所述的进料板(2-1)的进料孔设置，第一检测相机(2-2)和第三检测相机(2-6)设置在透明载盘(2-7)的上方并且第二检测相机(2-5)设置在其下方，每一所述的检测相机以及进料孔的中心位于以透明载盘(2-7)旋转中心为圆心的同一圆周上，所述的透明载盘(2-7)通过连接在其中轴上的旋转驱动装置的驱动能够在水平面内做旋转运动；所述收料组件包括其输出轴上连接有毛刷的不良品收料马达(3-9)、设置在所述的透明载盘(2-7)上方的良品吸头(3-1)和设置在透明载盘(2-7)下方的良品盒(3-2)以及不良品盒(3-8)，所述的良品吸头(3-1)通过与其相连的第四水平驱动装置能够沿水平方向移动至良品盒(3-2)以及透明载盘(2-7)的正上方，所述的毛刷设置在透明载盘的正上方并且与所述的不良品盒(3-8)相对设置，供料吸头(1-3)和良品吸头(3-1)的气孔分别与真空负压装置相连，一个上位机的信号输入端与供料相机以及第一至第三检测相机相连并且其信号输出端与第一至第四水平驱动装置、旋转驱动装置以及不良品收料马达(3-9)的信号输入端相连以控制其正、反转、停止。

2.根据权利要求1所述的晶片外观检测设备，其特征在于：所述的第一至第四水平驱动装置分别包括与上位机的信号输出端相连的移动马达，所述的移动马达的输出轴与导轨滑块结构中的滑块相连，所述的导轨分别通过支撑结构与所述的底板相连，所述的供料吸头(1-6)、供料相机(1-1)、散料盘(1-7)以及良品吸头(3-1)分别通过安装板与所述的滑块相连。

3.根据权利要求1所述的晶片外观检测设备，其特征在于：所述的旋转驱动装置包括与上位机的信号输出端相连的驱动马达，所述的驱动马达的输出轴垂直连接在所述的透明载盘(2-7)的中轴位置上。

4.根据权利要求1所述的晶片外观检测设备，其特征在于：在所述的透明载盘的正下方和正上方分别设置有下平面吹气头(3-6)和上平面吹气头(3-7)。

5.根据权利要求1所述的晶片外观检测设备，其特征在于：与所述的第一至第三检测相机相对应的位置上分别设置有上光源(2-3)和下光源(2-4)。