[实用新型]一种电子束通道组件组装装置

权利要求书

1.一种电子束通道组件组装装置，其特征在于：包括：

基座(1)，其内部成型有适于容纳所述电子束通道组件的腔室；

平行控制机构，设置于所述基座(1)上，用于使所述电子束通道组件中各零件之间相互平行；

同心度控制机构，设置于所述基座(1)上，用于控制成型在各所述零件上、适于电子束穿过的各个中心孔之间的同心度；

定位固定机构，与所述平行控制机构和所述同心度控制机构配合，将各所述零件固定定位。

2.根据权利要求1所述的组装装置，其特征在于：

所述基座(1)的所述腔室的侧壁上成型有沿径向延伸贯通的多个调整孔(17)，多个所述调整孔(17)的轴心分布在沿轴向方向的至少一个垂直于轴向的横截面上，每个所述横截面上至少分布有三个所述调整孔(17)，且每个所述横截面上的所述调整孔(17)分别对应各个所述中心孔；

所述平行控制机构，包括置于各所述零件之间的垫块，所述垫块的至少一组相对面为相互平行的平面；

所述同心度控制机构，包括适于与所述调整孔(17)配合的调整螺栓(5)，每个所述横截面上设置至少三个所述调整螺栓(5)；

所述定位固定机构，包括用于依次将各所述零件和各所述零件之间的所述垫块压紧的压紧部件，与成型在各所述零件上且沿轴向延伸的定位孔配合的、至少穿过两个所述零件的定位针(9)，以及与粘接剂配合将各所述零件粘接固定的绝缘棒。

3.根据权利要求2所述的组装装置，其特征在于：所述零件包括第一零件(2)、第二零件(4)和第三零件(11)；所述腔室沿轴向适于容纳所述第二零件(4)和所述第一零件(2)，所述调整孔(17)分布在两个所述横截面上，且分别对应所述第二零件(4)和所述第一零件(2)的所述中心孔；所述基座(1)靠近所述第二零件(4)的一端与压盖(13)可拆卸连接，所述压盖(13)内部成型有适于容纳所述第三零件(11)的容纳腔，所述压盖(13)的侧壁上成型有沿径向延伸贯通的、分布在一个所述横截面上的多个所述调整孔(17)，所述调整孔(17)对应所述第三零件(11)的所述中心孔。

4.根据权利要求3所述的组装装置，其特征在于：所述垫块包括置于所述第一零件(2)和所述第二零件(4)之间的小垫块(3)，以及置于所述第二零件(4)和所述第三零件(11)之间的大垫块(14)；所述压紧部件包括用于依次压紧所述第二零件(4)、所述小垫块(3)和所述第一零件(2)的压板(7)，以及用于依次压紧所述第三零件(11)、所述大垫块(14)和由所述第二零件(4)和所述第一零件(2)构成的所述组合件(15)的定位板(12)；所述压板(7)与所述基座(1)可拆卸连接；所述定位板(12)与所述压盖(13)可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的组装装置，其特征在于：所述定位板(12)和所述压盖(13)之间还包括套筒(16)，所述套筒(16)适于穿过所述第三零件(11)的所述中心孔。

6.根据权利要求5所述的组装装置，其特征在于：所述定位板(12)和所述套筒(16)为一体结构。

7.根据权利要求6所述的组装装置，其特征在于：所述压板(7)和所述定位板(12)沿圆周均成型有压紧螺孔，所述压紧螺孔与压紧螺钉(8)配合将相应部件压紧。

8.根据权利要求7所述的组装装置，其特征在于：在所述压板(7)和所述第二零件(4)之间还设置有垫片(6)。

9.根据权利要求4-8任一所述的组装装置，其特征在于：所述小垫块(3)和所述大垫块(14)的数量分别为至少三块，所述定位针(9)的数量为至少六个。

10.根据权利要求9所述的组装装置，其特征在于：所述基座(1)可拆卸地安装在显微镜接口板(10)上。