[实用新型]一种电子束通道组件组装装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及仪器仪表(分析仪器)领域，特别是一种电子显微镜中电子束通道组件组装装置。

背景技术

电子显微镜中的电子枪是一个微小的高亮度电子源，其作用就是为整个系统提供一个稳定的电子源以形成电子束。电子枪是由钨丝热阴极、栅极和阴极构成的部件，能发射并形成速度均匀的电子束。

电子枪的总组件包括发射组件和电子束通道组件。

所述发射组件由灯丝组件和灯丝粘结组件装配而成，所述灯丝粘结组件上成型有中心小孔，这个中心小孔适于发射灯丝(即发叉钨丝)发射出来的电子束穿过。所述灯丝组件由灯丝栅帽组件(或称之为灯丝座、钨丝热阴极)和灯丝固定座装配而成；而所述灯丝栅帽组件则由栅帽和灯丝陶瓷组件装配而成，在所述灯丝陶瓷组件上焊接有所述发射灯丝。从所述发射组件发射出来的电子束将通过所述电子束通道组件发射到透镜系统中。

所述电子束通道组件为电子束的行进通道，需要保证电子束有符合规定尺寸的通道距离，而且所述电子束通道组件中各个零件的装配精确度要求非常高：要求各个零件(第一零件、第二零件和第三零件)的中心孔要重合(即同心度要求)，还要保证各个部件间隔一定的规定距离并且相互平行，以保证不会对电子束的行进过程造成任何影响，使电子束能顺利通过。这一组装过程仅靠手工操作会产生很大误差，远达不到工艺精确度要求。由于上述高精度的装配要求，所述电子束通道组件需要一个专业装置来辅助组装，但是目前市场上还没有这种装置。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术没有能精确组装电子束通道组件的装置，而提供一种能精确地装配电子束通道组件的组装装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种电子束通道组件组装装置，包括：

基座，其内部成型有适于容纳所述电子束通道组件的腔室；

平行控制机构，设置于所述基座上，用于使所述电子束通道组件中各零件之间相互平行；

同心度控制机构，设置于所述基座上，用于控制成型在各所述零件上、适于电子束穿过的各个中心孔之间的同心度；

定位固定机构，与所述平行控制机构和所述同心度控制机构配合，将各所述零件固定定位。

上述组装装置中，

所述基座的所述腔室的侧壁上成型有沿径向延伸贯通的多个调整孔，多个所述调整孔的轴心分布在沿轴向方向的至少一个垂直于轴向的横截面上，每个所述横截面上至少分布有三个所述调整孔，且每个所述横截面上的所述调整孔分别对应各个所述中心孔；

所述平行控制机构，包括置于各所述零件之间的垫块，所述垫块的至少一组相对面为相互平行的平面；

所述同心度控制机构，包括适于与所述调整孔配合的调整螺栓，每个所述横截面上设置至少三个所述调整螺栓；

所述定位固定机构，包括用于依次将各所述零件和各所述零件之间的所述垫块压紧的压紧部件，与成型在各所述零件上且沿轴向延伸的定位孔配合的、至少穿过两个所述零件的定位针，以及与粘接剂配合将各所述零件粘接固定的绝缘棒。

上述组装装置中，所述零件包括第一零件、第二零件和第三零件；所述腔室沿轴向适于容纳所述第二零件和所述第一零件，所述调整孔分布在两个所述横截面上，且分别对应所述第二零件和所述第一零件的所述中心孔；所述基座靠近所述第二零件的一端与压盖可拆卸连接，所述压盖内部成型有适于容纳所述第三零件的容纳腔，所述压盖的侧壁上成型有沿径向延伸贯通的、分布在一个所述横截面上的多个所述调整孔，所述调整孔对应所述第三零件的所述中心孔。

上述组装装置中，所述垫块包括置于所述第一零件和所述第二零件之间的小垫块，以及置于所述第二零件和所述第三零件之间的大垫块；所述压紧部件包括用于依次压紧所述第二零件、所述小垫块和所述第一零件的压板，以及用于依次压紧所述第三零件、所述大垫块和由所述第二零件和所述第一零件构成的所述组合件的定位板；所述压板与所述基座可拆卸连接；所述定位板与所述压盖可拆卸连接。

上述组装装置中，所述定位板和所述压盖之间还包括套筒，所述套筒适于穿过所述第三零件的所述中心孔。

上述组装装置中，所述定位板和所述套筒为一体结构。

上述组装装置中，所述压板和所述定位板沿圆周均成型有压紧螺孔，所述压紧螺孔与压紧螺钉配合将相应部件压紧。

上述组装装置中，在所述压板和所述第二零件之间还设置有垫片。

上述组装装置中，所述小垫块和所述大垫块的数量分别为至少三块，所述定位针的数量为至少六个。