[实用新型]磁控溅射装置组合单元有效
| 申请号： | 201020056712.2 | 申请日： | 2010-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN201704400U | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 王金林;陆卫;季亚林;徐军 | 申请（专利权）人： | 广东中航特种玻璃技术有限公司;中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 516083 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 装置 组合 单元 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射装置组合单元，其特征在于：包括阴极，分子泵以及导流罩，所述的分子泵设置在导流罩内，所述的分子泵与阴极并列设置。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射装置组合单元，其特征在于：所述的分子泵数量为2个。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射装置组合单元，其特征在于：所述的阴极以及分子泵以溅射传送方向依次设置。
4.根据权利要求1所述的磁控溅射装置组合单元，其特征在于：所述的分子泵以及阴极以溅射传送方向依次设置。
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