[实用新型]一种掩膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及平板显示器技术领域，尤其涉及一种用于制作面板的掩膜装置。

背景技术

在面板中通常具有许多膜层，如彩色滤光片上的透明导电膜和保护膜、阵列基板上的钝化层和像素电极层等，该等膜层可通过沉积、涂布、溅射等方式形成于面板上。

然而，在上述膜层加工中需要使用掩膜板遮挡不需制作膜层的位置，以制作需要的图案。为保证该图案制作的精确度，掩膜板需具有刚性且不易变形。另外，由于所述图案的制作是在较高温度下，故所述掩膜板需承受高温。因此，业界使用金属材质制作掩膜板。使用所述金属掩膜板时，将该金属掩膜板覆盖于所述面板上，并直接与所述面板接触。而该面板在制作膜层时其上通常还有其他膜层，如彩色滤光片基板在溅射公共电极层时，其上已形成有黑色矩阵和彩色树脂层，该金属掩膜板在安置或撤离所述彩色滤光片基板时，容易刮伤该彩色滤光片基板上的黑色矩阵和彩色树脂层，影响面板的质量，进而影响使用该面板的显示器的显示品质和良率。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供一种可避免损伤面板或其上已有膜层的掩膜装置。

一种掩膜装置，用于面板的膜层加工，其包括基体材料层和表面涂层。所述基体材料层由不易变形且可承受高温的材料制成。所述表面涂层设置于所述基体材料层的一侧，用于避免所述基体材料层与所述面板直接接触，且所述表面涂层由柔性且耐高温材料制成。

本实用新型提供的掩膜装置中，通过增设由柔性耐高温材料制成的表面涂层，来有效避免所述基体材料层与所述面板直接接触，避免所述掩膜装置损伤所述面板或其上的已有膜层，保证该面板具有更高的良品率。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1为一较佳实施方式的掩膜装置及其应用于面板膜层加工时的示意图。

图2为图1所示的掩膜装置的A-A向剖面示意图。

图3为利用图1所示的掩膜装置在面板上形成新的膜层示意图。

具体实施方式

为了克服现有技术中的掩膜装置损伤面板或其上的已有膜层的问题，本实用新型通过增设由柔性耐高温材料制成的表面涂层，来有效避免掩膜装置损伤面板或其上的已有膜层，保证面板具有更高的良品率。

以下结合说明书附图对本实用新型提供的掩膜装置进行详细说明。

请同时参阅图1和图2，掩膜装置200覆盖于面板100上。面板100可以是但不限于显示面板或触摸面板，其包括基板110和已有膜层120。基板110为透明材料如玻璃或树脂制成的透明基板。已有膜层120设置于基板110上，且其厚度远小于基板110的厚度。

掩膜装置200包括基体材料层210和表面涂层220。表面涂层220设置于基体材料层210的一侧，其厚度小于基体材料层210的厚度。基体材料层210由具有刚性的材料制成，如金属、金属合金等。表面涂层220由具有柔性的材料如Teflon制成。基体材料层210和表面涂层220均可承受比较高的温度，以防止在面板100加工膜层过程中被软化变形，影响面板100的图形精度。掩膜装置200的厚度比较优选地是小于基板110的厚度。

掩膜装置200的表面涂层220正对基板110，其根据面板100上需要制作的图形设置一个多个镂空区域230，用于曝露与该镂空区域230对应位置处的面板100，以在面板100的已有膜层120上形成新的膜层。

请参阅图3，掩膜装置200设置于面板100上，且表面涂层220与已有膜层120接触，可有效避免基体材料层210与面板100直接接触，避免掩膜装置200损伤基板110或其上的已有膜层120，保证面板100具有更高的良品率。

掩膜装置200上的多个镂空区域230曝露出基板110上的已有膜层120。将覆盖有掩膜装置200的面板100放置于沉积环境中，以在镂空区域230对应的所述面板100的多个区域形成第二膜层130。

在其他实施方式中，表面涂层220可完全覆盖基体材料层210，也可覆盖基体材料层210的边缘及围成镂空区域230的基体材料层210边缘。

以上为本实用新型提供的掩膜装置的较佳实施方式，不能理解为对本实用新型权利保护范围的限制。本领域的技术人员应知晓，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可做多种改进或替换，所有的该等改进或替换都应在本实用新型的权利保护范围内，即本实用新型的权利保护范围应以权利要求为准。