[实用新型]半导体元件封装设备有效
| 申请号: | 201020002409.4 | 申请日: | 2010-01-06 |
| 公开(公告)号: | CN201601115U | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
| 发明(设计)人: | 黄良印;洪世杰;邱创文 | 申请(专利权)人: | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 元件 封装 设备 | ||
1.一种半导体元件封装设备,其特征在于,包含有:
一控制模块;
一基板输送机构,包含有一预热区、一预检区、一预压区与一压合区等区段,至少一基板通过该基板输送机构沿该等区段间移动,各基板上的适当位置设有标示码,标示该基板的第一特性与第二特性;
一预热装置,设置于该预热区;
一基板预检机构,设置于该预检区;
一晶粒预压机构,设置于该预压区;
至少一晶粒压合机构,设置于该压合区;
一晶片承载机构,设置于该基板输送机构之一侧,该晶片承载机构承载一晶片,该晶片包含多个晶粒,各晶粒具有其对应的标示码,代表该晶粒的第一特性与第二特性;
一晶粒备载机构,邻近设置于该晶片承载机构,承载多个具有第二特性的晶粒;以及
一承载台,设置于该基板传输送机构与该晶片承载机构之间,承接一晶粒并移动至预压区的该基板传输机构下方;
一晶粒取放机构,设置于该晶片承载机构与该承载台之间,自该晶片承载机构或自该晶粒备载机构移送一晶粒至该承载台。
2.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该基板输送机构的两端进一步设置有一进料区与一出料区。
3.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该基板输送机构还包含:
第一轨道与第二轨道,两者平行设置;
至少一驱动装置;以及,
多个滚轮组,各滚轮组包含有一主动轮与一被动轮,各主动轮通过该驱动装置带动旋转,且轴心位置为固定。
4.依据权利要求3所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该驱动装置及该滚轮组设置于相同轨道,且该被动轮可进一步连结一顶压装置。
5.依据权利要求4所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该顶压装置为气压缸或马达。
6.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该基板为印刷电路板或导线架。
7.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该晶粒压合机构进一步设置有加热装置。
8.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该预压区进一步包含有第一定位检测装置,及该压合区进一步包含有第二定位检测装置。
9.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,进一步包含一清洁模块,设置于该压合区靠近该晶片承载机构的一侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





