[实用新型]半导体元件封装设备有效

专利信息
申请号: 201020002409.4 申请日: 2010-01-06
公开(公告)号: CN201601115U 公开(公告)日: 2010-10-06
发明(设计)人: 黄良印;洪世杰;邱创文 申请(专利权)人: 均豪精密工业股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 半导体 元件 封装 设备
【权利要求书】:

1.一种半导体元件封装设备,其特征在于,包含有:

一控制模块;

一基板输送机构,包含有一预热区、一预检区、一预压区与一压合区等区段,至少一基板通过该基板输送机构沿该等区段间移动,各基板上的适当位置设有标示码,标示该基板的第一特性与第二特性;

一预热装置,设置于该预热区;

一基板预检机构,设置于该预检区;

一晶粒预压机构,设置于该预压区;

至少一晶粒压合机构,设置于该压合区;

一晶片承载机构,设置于该基板输送机构之一侧,该晶片承载机构承载一晶片,该晶片包含多个晶粒,各晶粒具有其对应的标示码,代表该晶粒的第一特性与第二特性;

一晶粒备载机构,邻近设置于该晶片承载机构,承载多个具有第二特性的晶粒;以及

一承载台,设置于该基板传输送机构与该晶片承载机构之间,承接一晶粒并移动至预压区的该基板传输机构下方;

一晶粒取放机构,设置于该晶片承载机构与该承载台之间,自该晶片承载机构或自该晶粒备载机构移送一晶粒至该承载台。

2.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该基板输送机构的两端进一步设置有一进料区与一出料区。

3.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该基板输送机构还包含:

第一轨道与第二轨道,两者平行设置;

至少一驱动装置;以及,

多个滚轮组,各滚轮组包含有一主动轮与一被动轮,各主动轮通过该驱动装置带动旋转,且轴心位置为固定。

4.依据权利要求3所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该驱动装置及该滚轮组设置于相同轨道,且该被动轮可进一步连结一顶压装置。

5.依据权利要求4所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该顶压装置为气压缸或马达。

6.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该基板为印刷电路板或导线架。

7.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该晶粒压合机构进一步设置有加热装置。

8.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,该预压区进一步包含有第一定位检测装置,及该压合区进一步包含有第二定位检测装置。

9.依据权利要求1所述的半导体元件封装设备,其特征在于,进一步包含一清洁模块,设置于该压合区靠近该晶片承载机构的一侧。

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