[发明专利]载具及其操作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种载具及其操作方法，特别是一种应用于显微构件组的载具及其操作方法。

背景技术

请参照图1，其为传统扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)或聚焦式离子束显微系统(Focused Ion Beam，FIB)的载台的示意图。该载具10除了x、y、z三轴向的移动外，载台12可沿着z轴旋转以及绕着x轴倾转。然而，一般的载台12绕着x轴转动的范围大致仅能介于60°至120°之间，由于载台12受到此角度限制，故位于其上的待测对象14仅能以范围有限的角度关系接受粒子束16的照射，这对SEM断层扫描或FIB对象加工造成作业上的限制。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种载具及其操作方法，载具可带动对象作全角度的转动，可有效提升显微系统的三维取像分析或对象加工的效能。

为了实现上述目的，本发明提供了一种显微构件组的载具。载具包括一基座、一第一齿轮组件、一第二齿轮组件、一对象承载件及一固定件。第一齿轮组件可转动地设于基座，第二齿轮组件可转动地设于基座且啮合于第一齿轮组件。对象承载件设于第二齿轮组件上，用以接受一对象的放置。固定件连接基座与显微构件组的一载台上不做垂直轴向旋转的位置。其中，第一齿轮组件可直接或经由转接结构安装至载台；且第一齿轮组件的转动轴向与第二齿轮组件的转动轴向之间夹一角度。

为了更好地实现上述目的，本发明还提供了一种载具的操作方法。载具是用以装设于-显微构件组上。载具包括一基座、一第一齿轮组件、一第二齿轮组件、一对象承载件及一固定件。第一齿轮组件可转动地设于基座，第二齿轮组件可转动地设于基座且啮合于第一齿轮组件。对象承载件设于第二齿轮组件上，用以承载一对象。固定件连接基座与显微构件组的一载台上不做垂直轴向旋转的位置。其中，第一齿轮组件可直接或经由转接结构安装至载台；且第一齿轮组件的转动轴向与第二齿轮组件的转动轴向之间夹一角度。操作方法包括以下步骤。驱动第一齿轮组件转动；以及，第一齿轮组件带动第二齿轮组件转动，其中对象承载件随第二齿轮组件转动而带动对象转动，使对象受到显微构件组的一粒子束的照射。

本发明的技术效果在于：本发明的载具及其操作方法，载具可带动待分析或加工的对象绕转动轴向进行360度的转动，以接受显微构件组中的入射粒子束(如电子束或离子束)照射，进而达成全角度的断层扫描取像或加工，可有效提升显微系统的三维取像分析或对象加工的效能。此外，载具具有可携带性及可拆装性，且其自显微构件组的载台组装与拆卸相当方便且快速。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为一般显微构件组的载台的示意图；

图2为依照本发明一实施例的显微构件组的示意图；

图3为图2的第一转接件与固定件的卡设示意图；

图4为依照本发明一实施态样的第一转接件与固定件的卡设示意图；

图5为图4中沿+X轴方向的侧视图；

图6为图2的前视图；

图7为本发明其它实施例的载具的第二转接件的剖视图；

图8为图6的基座、第一转接件、第一齿轮组件及第二齿轮组件的爆炸图；

图9为本发明其它实施例的第一转接件的剖视图；

图10为图6中物件承载件的示意图；

图11为依照本发明一实施例的显微构件组的操作方法流程图。

其中，附图标记

10、102  载具            12、104  载台

14、154  物件            16  电子束

100  显微构件组          104a  可旋转部分

104b  不可旋转部分        106  第一齿轮组件

108  第二齿轮组件         110  基座

112  第一子基座           114  第二子基座

118、218  固定件          120、220、320  第一转接件

120a、164a、218a  开孔    124  第一齿轮

124a  背面                126  第二转动杆

128  第三转动杆           130  基座贯孔

132  第二齿轮             134  第一转动杆