[发明专利]载具及其操作方法

权利要求书

1.一种显微构件组的载具，其特征在于，该载具包括：

一基座；

一第一齿轮组件，可转动地设于该基座；

一第二齿轮组件，可转动地设于该基座且啮合于该第一齿轮组件；

一对象承载件，设于该第二齿轮组件上，该对象承载件用以接受一对象的放置，以及

一固定件，连接该基座与该显微构件组的一载台；

其中，该第一齿轮组件的转动轴向与该第二齿轮组件的转动轴向之间夹一角度。

2.如权利要求1所述的载具，其特征在于，该第一齿轮组件及该第二齿轮组件为斜齿轮。

3.如权利要求1所述的载具，其特征在于，该角度等于90度。

4.如权利要求1所述的载具，其特征在于，该载台包括一可旋转部分，该可旋转部分用以驱动该第一齿轮组件。

5.如权利要求1所述的载具，其特征在于，该基座与该固定件之一具有一开孔，该基座与该固定件的另一卡设于该开孔。

6.如权利要求5所述的载具，其特征在于，该开孔位于该基座，该开孔沿一方向的内径等于或略小于该固定件与该开孔接合处的外径，其中该方向为该第一齿轮组件转动时，该开孔的受力方向。

7.如权利要求5所述的载具，其特征在于，该基座具有一第一固定杆，该开孔位于该固定件，该开孔沿一方向的内径等于该基座的该第一固定杆与该开孔接合处的外径，其中该方向为该第一齿轮组件转动时，该开孔的受力方向。

8.如权利要求1所述的载具，其特征在于，该基座包括：

一基座本体，具有一基座贯孔；以及

一第一转接件，固设于该基座本体上；

其中，该第一转接件与该第二齿轮组件中之一穿设该基座贯孔，且该第二齿轮组件可动地连接于该第一转接件。

9.如权利要求8所述的载具，其特征在于，该第一转接件包括：

一第一固定杆，卡设于该固定件；以及

一抵靠件，固接于该第一固定杆且位于该基座贯孔内；

该第二齿轮组件包括：

一第二齿轮，该第二齿轮的外径小于该基座贯孔的内径；

一第一转动杆，可动地连接于该第一转接件；以及

一连接部，连接该第二齿轮与该第一转动杆且抵靠于该第一转接件的该抵靠件上。

10.如权利要求1所述的载具，其特征在于，该载台包括一可旋转部分及一不旋转部分，该载具还包括：

一第二转接件，连接该第一齿轮组件与该载台的该可旋转部分；

其中，该固定件连接该基座与该载台的不旋转部分。

11.一种载具的操作方法，该载具适用于装设在一显微构件组上，其特征在于，该载具包括一基座、一第一齿轮组件、一第二齿轮组件、一对象承载件及一固定件，该第一齿轮组件可转动地设于该基座，该第二齿轮组件可转动地设于该基座且啮合于该第一齿轮组件，该对象承载件设于该第二齿轮组件上，用以承载一对象，该固定件连接该基座与该显微构件组的载台，其中该第一齿轮组件的转动轴向与该第二齿轮组件的转动轴向之间夹一角度，该操作方法包括：

驱动该第一齿轮组件转动；以及

该第一齿轮组件带动该第二齿轮组件转动，其中该对象承载件随该第二齿轮组件转动而带动该对象转动，使该对象受到该显微构件组的粒子束的照射。