[发明专利]一种防着板加工方法有效
| 申请号： | 201010617133.5 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102107347A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;范文新 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防着 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种防着板加工方法，包括：提供防着板毛坯；
对防着板毛坯进行切削加工；
其特征在于：还提供压力机及辅助盘，在切削加工过程中，每结束一道切削工序后，均使4000吨压力机通过辅助盘对防着板被加工部位施加10～20兆帕的压强，施加压强保持的时间为1～2分钟。
2.根据权利要求1所述的防着板加工方法，其特征在于：所述防着板用于LCD溅镀加工时靶材所处腔体。
3.根据权利要求1所述的防着板加工方法，其特征在于：所述防着板的材料为铝或者铝合金。
4.根据权利要求1所述的防着板加工方法，其特征在于：所述切削加工依次包括粗铣平面、精铣外形、精铣平面及平面凹凸结构加工环节。
5.根据权利要求1所述的防着板加工方法，其特征在于：所述辅助盘为辅助圆盘。
6.根据权利要求1所述的防着板加工方法，其特征在于：在提供防着板毛坯后、对防着板毛坯进行切削加工之前，还包括对防着板毛坯进行油压校正。
7.根据权利要求6所述的防着板加工方法，其特征在于：所述油压校正为4000吨油压校正。
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