[发明专利]放射线敏感性组合物、固化膜及其形成方法

权利要求书

1.一种正型放射线敏感性组合物，其含有：

[A]硅氧烷聚合物、

[B]金属氧化物颗粒、和

[C]放射线敏感性酸产生剂或放射线敏感性碱产生剂，

上述[B]金属氧化物颗粒为选自铝、锆、钛、锌、铟、锡、锑和铈构成的群组中的至少一种金属的氧化物颗粒。

2.如权利要求1所述的正型放射线敏感性组合物，其中，[A]硅氧烷聚合物是下式(1)表示的水解性硅烷化合物的水解缩合物，

(R¹)_n-Si-(OR²)_4-n    (1)

在式(1)中，R¹各自独立地为氢或碳原子数为1～20的非水解性有机基团，R²各自独立地为氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的酰基或碳原子数为6～15的芳基，n为0～3的整数。

3.如权利要求1所述的正型放射线敏感性组合物，其中，进一步含有[D]分散剂。

4.如权利要求3所述的正型放射线敏感性组合物，其中，[D]分散剂为下式(2)、(3)或(4)表示的化合物、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯烷基苯基醚、烷基葡糖苷、聚氧乙烯脂肪酸酯、蔗糖酸脂肪酸酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脱水山梨糖醇脂肪酸酯或脂肪酸链烷醇酰胺，

在式(2)中，R³各自独立地是C_qH_2q+1-CH₂O-(CH₂CH₂O)_p-CH₂CH₂O-，p为8～10，q为12～16，x为1～3的整数，

在式(3)中，对r和s的数字进行选择，使通过凝胶渗透色谱求出的聚苯乙烯换算数均分子量为10000～40000，

在式(4)中，对t和u的数字进行选择，使通过凝胶渗透色谱求出的聚苯乙烯换算数均分子量为1000～30000。

5.如权利要求1～4任一项所述的放射线敏感性组合物，其用于形成固化膜。

6.一种固化膜的形成方法，其包括：

(1)在基板上形成权利要求5所述放射线敏感性组合物涂膜的工序、

(2)在工序(1)中形成的涂膜的至少一部分中照射放射线的工序、

(3)使在工序(2)中照射了放射线的涂膜显影的工序、和

(4)加热在工序(3)中显影的涂膜的工序。

7.一种固化膜，其由权利要求5所述的放射线敏感性组合物形成。