[发明专利]半导体设备软件故障报警方法

说明书

技术领域

本发明属于故障检测技术，具体地说是一种半导体设备软件故障报警方法。

背景技术

随着半导体技术的快速发展，对半导体制造设备的要求也越来越高，在生产中对半导体设备进行实时监测和有效的故障报警是现代电子制造业的发展趋势，要求现代半导体设备不仅要能够及时响应多变的外部环境，还要能快速重新配置内部各种资源，并对其进行故障报警，以达到优化生产的目的。

目前报警装置监视半导体设备系统关键参数的变化，在发生非法变化时产生报警信息，并告之操作员做相应的处理，在半导体设备工作过程中，当出现故障时，该报警装置可以及时报警，否则不仅设备可靠性和安全性无法得到保障，同时也为构建高度自动化的半导体制造工厂带来了弊端。

现阶段的工艺条件下，发生这些故障时，大多设备缺少报警功能或一般采用较简单的报警处理机制，一旦设备故障就停止整个加工流程甚至关闭控制系统，而且设备维护人员也很难在故障发生时就立即发现并排除故障，这样就造成了不必要的损失，导致化学机械中的产品直接报废，影响产品良率。

发明内容

针对上述报警装置的不足，本发明为解决该问题提供了一种能及时发现故障并立即报警的半导体设备故障报警方法。

为实现本发明目的，本发明采取如下技术方案：

半导体设备软件故障报警方法包括如下步骤：

在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集；

对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置；通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配置，形成报警监视表，该表存在于数据库中；

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算；

对计算后的报警信息建立报警信息列表，同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库中；

对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理，通过实时报警信息接口将处理后的恢复信息输送到报警控件中并集成在界面上；

对数据库中的报警信息，直接通过历史报警接口输送到报警控件中并集成在界面上。

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算：

对收集的实时数据进行判定，如为开关量，则判断开关量是否满足大于或小于预定值，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表。

如实时数据的开关量不满足大于或小于预定值，则转续收集实时数据步骤。

如为模拟量，则判断模拟量是否等于1或0，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表中。

如不满足条件，则转续收集实时数据步骤。

缓冲区中建立的报警信息列表包括报警发生日期和时间、变量属性、变量名、变量描述、开关量的报警或恢复状态说明、模拟量的报警或恢复事件描述信息，恢复事件描述信息包括报警值、单位、报警性质和阈值。

数据库中建立的报警监视表包括：模拟量限值报警、开关量报警、组合报警。

所述的报警信息处理过程：

查看报警信息列表；

根据该表存储的报警信息，与计算服务器上的报警服务交互；

在报警屏上自动显示报警信息、报警灯闪烁、报警音响。

本发明具有如下有益效果及优点：

1.本发明报警系统报警功能强、精确度高。该方法程序与计算服务器上的报警服务交互，做出相应的处理包括在报警屏上自动显示报警信息、报警灯闪烁、报警音响。操作人员通过界面能及时了解和发现现场半导体设备所发生的故障，及时处理排除故障，避免发生产品的损失。

2.本发明报警系统自动化程度高。由于采用了实时数据服务器和报警控件，通过报警软件程序对各半导体控制设备生产线的报警数据采集、监控和处理，简化了人工操作步骤，提高了半导体设备的自动化水平，避免了由于人员参与设备产生的误操作行为，从而提高了设备的效率和可靠性安全性。

3.本发明完善了半导体设备控制系统。由于设计了实时数据库收集监视模块，实现了对半导体设备的精确控制，通过报警信息处理模块，提高了产品成品率等多种工艺指标，有效地解决了由于设备异常而造成的损失，为半导体生产工序提供了保障；提高了产品的合格率，进而大大降低了生产成本。

附图说明

图1为报警系统结构图。

图2为图1报警信息计算模块流程图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的方案作进一步详细说明。

参见图1，半导体设备软件故障报警方法包括如下步骤：