[发明专利]半导体设备软件故障报警方法

权利要求书

1.一种半导体设备软件故障报警方法，其特征在于包括如下步骤：

在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集；

对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置；通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配置，形成报警监视表，该表存在于数据库中；

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算；

对计算后的报警信息建立报警信息列表，同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库中；对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理，通过实时报警信息接口将处理后的恢复信息输送到报警控件中并集成在界面上；

对数据库中的报警信息，直接通过历史报警接口输送到报警控件中并集成在界面上。

2.根据权利要求1所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算：

对收集的实时数据进行判定，如为开关量，则判断开关量是否满足大于或小于预定值，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表。

3.根据权利要求2所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

如实时数据的开关量不满足大于或小于预定值，则转续收集实时数据步骤。

4.根据权利要求2所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

如为模拟量，则判断模拟量是否等于1或0，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表。

5.根据权利要求4所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

如不满足条件，则转续收集实时数据步骤。

6.根据权利要求1所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

缓冲区中建立的报警信息列表包括报警发生日期和时间、变量属性、变量名、变量描述、开关量的报警或恢复状态说明、模拟量的报警或恢复事件描述信息，其恢复事件描述信息包括报警值、单位、报警性质和阈值。

7.根据权利要求1所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

数据库中建立的报警监视表包括：模拟量限值报警、开关量报警、组合报警。

8.根据权利要求1所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

所述的报警信息处理过程：

查看报警信息列表；

根据该表存储的报警信息，与计算服务器上的报警服务交互；

在报警屏上自动显示报警信息、报警灯闪烁、报警音响。