[发明专利]制造太阳能电池的方法

权利要求书

1.一种制造太阳能电池的方法，包含以下步骤：

提供具有一表面的一基板；

以具有复数个突起部的一物件抵压该基板的该表面，且藉此在该表面上形成复数个压痕；

在该基板的该压痕表面上形成一透明导电层；

在该透明导电层上形成一光伏层；以及

在该光伏层上方形成一背面电极。

2.如权利要求1所述的方法，还包含以下步骤：在该物件的该些突起部抵压该基板的该表面之前或与此同时，量测该物件与该基板的该表面之间的一垂直距离。

3.如权利要求1所述的方法，还包含以下步骤：在该物件的该些突起部抵压该基板的该表面的同时，藉由调整一补偿偏压来旋转该物件。

4.如权利要求1所述的方法，还包含以下步骤：在该物件的该些突起部抵压该基板的该表面的同时，沿着与该基板的该表面平行的一方向来移动该物件。

5.如权利要求4所述的方法，其中该移动该物件的步骤藉由向该物件施加一补偿偏压来控制。

6.如权利要求5所述的方法，其中该补偿偏压在1mV至10mV之间。

7.如权利要求1所述的方法，其中每一该些突起部的材料选自由石英、黄玉、氮化钛、钒土、碳化硅以及金刚石所组成的群组。

8.如权利要求1的方法，其中每一该些突起部的高度为约3μm至约17μm。

9.如权利要求1的方法，其中该基板的该压痕表面的一算术平均粗糙度为约10nm至约40nm。

10.如权利要求1的方法，其中该透明导电层包含至少一材料，该材料选自由氧化铟锡；氧化锌；掺杂铝、氟、镓或硼的氧化锌；硫化镉；氧化镉；氧化锡以及掺杂氟的二氧化锡所组成的群组。