[发明专利]一种多波长输出的标准具及其制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及光学与激光领域，尤其涉及标准具领域。

背景技术

传统的标准具由平行放置的两块平面板组成的，在两板相对的平面上镀金属膜或其他有较高反射系数的薄膜来实现多光束干涉，利用多光束干涉原理产生十分细锐的条纹，可以选择特定波长的光束低损耗透过，而其它波长则损耗很大。其光路原理如图1所示，相邻两条光线的位相差进而透射率为：可见其透射率是波长λ₀、厚度h、反射率R的函数。

在光纤通讯中，往往需要同一标准具能输出不同的波长，传统的标准具一般采用不同入射角度来实现不同波长的输出。但是激光光斑通常在400μm左右，因而标准具入射角较小，输出波长范围也较小；另外，传统多是利用光学加工来制作标准具，因此标准具间隔通常亦多只能加工到亚微米数量级，很难达到所需的厚度精度。

发明内容

为克服上述问题，本发明提出了一种新型多波长输出的标准具及其制作方法。

为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：一种多波长输出的标准具，包括标准具腔片基板、过渡块和顶块，所述的过渡块通过光胶或胶粘固定于基板之上，所述的顶块通过光胶或胶粘固定于过渡块之上，其特征在于：所述的基板上镀有一维或者二维的台阶衬底，所述的台阶衬底上镀有一层高反膜，所述的顶块镀有反射膜，所述的镀高反膜的台阶衬底与所述的镀反射膜的顶块形成透射中心波长多级标准具。

进一步的，所述的台阶衬底是与基板材料相同；所述的过渡块是容易与基板胶合的光学材料；所述的顶块是容易与过渡块胶合的光学材料。

进一步的，一种多波长输出的标准具的制作方法，包括如下步骤：

步骤1：先制作标准具腔片基板，并通过镀膜机粒子束和利用挡板逐步遮掩在基板上镀上与基片材料相同的膜层，进而在基板上形成一维或者二维的台阶衬底；

步骤2：在步骤1的基础上在基板上的台阶衬底上面镀一层高反膜；

步骤3：在步骤2的基础上在基板上的台阶衬底四周光胶或着胶粘过渡块；

步骤4：在步骤3的基础上在过渡块上光胶或胶粘一镀有反射膜的顶块。

更进一步的，所述的基板材料是石英材料或者是性能与石英类似的光学材料；所述的过渡块和顶块也是石英材料；所述的台阶衬底是十级的一维台阶或者是10×10级的二维台阶，每层相差1nm-10nm的高度。

本发明的一种多波长输出的标准具，不需要改变入射光方向，即可获得多个透射中心波长输出，且标准具间隔加工精度高，可达到纳米数量级。因其不需调节入射角度即可获得多个透射中心波长输出，特别适用于有双光纤接收反射端器件。

附图说明

图1是一标准具基本光路图，即多光束干涉示意图；

图2是一种多波长输出的标准具制作过程，在基板上镀台阶衬底的示意图；

图3是一种多波长输出的标准具制作过程，在台阶衬底上镀高反膜的示意图；

图4是一种多波长输出的标准具制作过程，在基板上的台阶衬底四周光胶SiO2过渡块的示意图；

图5是一种多波长输出的标准具制作过程，在SiO2过渡块上光胶一镀有反射膜的SiO2顶块的示意图，也是本发明的一种多波长输出的标准具的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式，对本发明做进一步描述说明。

本发明提供的技术方案为：一种多波长输出的标准具，包括标准具腔片基板101、过渡块107和顶块109，所述的过渡块通过光胶106或胶粘固定于基板之上，所述的顶块通过光胶108或胶粘固定于过渡块之上，其特征在于：所述的基板上镀有一维或者二维的台阶衬底102，所述的台阶衬底上镀有一层高反膜105，所述的顶块镀有反射膜110，所述的镀高反膜的台阶衬底与所述的镀反射膜的顶块形成透射中心波长多级标准具。一种多波长输出的标准具的制作方法，主要通过镀膜机粒子束和利用挡板逐步遮掩在标准具腔片基板上镀上与基板材料相同的膜层，进而在基板上形成一维或者二维的台阶衬底，再在台阶衬底上镀高反膜，在顶块上镀反射膜，从而台阶衬底与顶块形成透射中心波长多级标准具。