[发明专利]一种多波长输出的标准具及其制作方法有效
申请号: | 201010607065.4 | 申请日: | 2010-12-27 |
公开(公告)号: | CN102073086A | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
发明(设计)人: | 吴砺;贺坤;魏豪明;林磊 | 申请(专利权)人: | 福州高意光学有限公司 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G02B1/10 |
代理公司: | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人: | 许育辉;张维可 |
地址: | 350001 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波长 输出 标准 及其 制作方法 | ||
1.一种多波长输出的标准具,包括标准具腔片基板(101)、过渡块(107)和顶块(109),所述的过渡块(107)通过光胶(106)或胶粘固定于所述的基板(101)之上,所述的顶块(109)通过光胶(108)或胶粘固定于所述的过渡块(109)之上,其特征在于:所述的基板(101)上镀有一维或者二维的台阶衬底(102),台阶衬底(102)上镀有一层高反膜(105),顶块(109)镀有反射膜(110)。
2.如权利要求1所述的一种多波长输出的标准具,其特征在于:所述的台阶衬底(102)与基板(101)材料相同;所述的过渡块(107)是容易与基板(101)胶合的光学材料;所述的顶块(109)是容易与过渡块(107)胶合的光学材料。
3.一种多波长输出的标准具的制作方法,包括如下步骤:
步骤1:先制作标准具腔片基板(101),并通过镀膜机粒子束(104)和利用挡板(103)逐步遮掩在基板(101)上镀上与基板(101)材料相同的膜层,进而在基板(101)上形成一维或者二维的台阶衬底(102);
步骤2:在步骤1的基础上在基板(101)上的台阶衬底(102)上面镀一层高反膜(105);
步骤3:在步骤2的基础上在基板(101)上的(102)四周光胶(106)或着胶粘过渡块(107);
步骤4:在步骤3的基础上在过渡块(107)上光胶(108)或胶粘一镀有反射膜(110)的顶块(109)。
4.如权利要求1-3所述的一种多波长输出的标准具,其特征在于:所述的基板(101)材料是石英。
5.如权利要求1-3所述的一种多波长输出的标准具,其特征在于:所述的基板(101)材料是性能与石英类似的光学材料。
6.如权利要求1-3所述的一种多波长输出的标准具,其特征在于:所述的过渡块(107)和顶块(109)是石英。
7.如权利要求1-3所述的一种多波长输出的标准具,其特征在于:所述的台阶衬底(102)每层相差1nm-10nm的高度。
8.如权利要求1-3所述的一种多波长输出的标准具,其特征在于:所述的台阶衬底(102)是十级的一维台阶。
9.如权利要求1-3所述的一种多波长输出的标准具,其特征在于:所述的台阶衬底(102)是10×10级的二维台阶。
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