[发明专利]主动组件数组基板及其制作方法

权利要求书

1.一种主动组件数组基板，其特征在于：包括：

一基板，定义出多个第一区与多个第二区；

多个主动组件，配置于该基板上并位于该些第一区内，各该些主动组件具有一闸极、一主动层、一汲极及一源极，其中该主动层电性连接该汲极与该源极；

一保护层，配置于该基板上并覆盖该些主动组件，该保护层具有多个第一开口，其中各该些开口分别暴露相对应的各该些主动组件的该汲极；

一光阻材料层，配置于该保护层上，并具有一厚度及多个第二开口，其中各该些第二开口暴露各该些第一开口；

多个微粒，配置于该光阻材料层中并于该光阻材料层的表面上构成多个凸起图案，且该些凸起图案至少位于各该些第一区内，至少部分该些微粒的粒径大于该光阻材料层的该厚度；

多个透明电极，配置于该基板上并覆盖该光阻材料层，且该些透明电极共形于该些凸起图案，各该些透明电极依序透过该第二开口及该第一开口而与相对应的各该些主动组件的该汲极电性连接；以及

多个反射电极，分别配置于该些透明电极上并共形于该些凸起图案，且该反射电极至少位于该些第一区上。

2.根据权利要求1所述的主动组件数组基板，其特征在于：所述光阻材料层更包括多个第三开口，其中该些第三开口暴露出位于该些第二区内的该保护层，且该些透明电极透过该些第三开口而与该保护层连接。

3. 根据权利要求2所述的主动组件数组基板，其特征在于：其中该反射电极仅位于该些第一区上。

4. 根据权利要求1所述的主动组件数组基板，其特征在于：其中该光阻材料层位于该些第一区内与该些第二区内。

5. 根据权利要求4所述的主动组件数组基板，其特征在于：其中该些凸起图案位于该些第一区内及该些第二区内。

6. 根据权利要求5所述的主动组件数组基板，其特征在于：其中该些透明电极及该些反射电极位于该些第一区内及该些第二区内，且该些透明电极及该些反射电极共形该些凸起图案。

7. 根据权利要求1所述的主动组件数组基板，其特征在于：其中该些微粒的粒径较佳地落在0.1μm~3μm之间。

8. 根据权利要求7所述的主动组件数组基板，其特征在于：其中该些微粒的粒径实质上落在0.1μm~1.5μm之间。

9. 一种主动组件数组基板的制作方法，其特征在于：包括：

提供一基板，并于该基板上定义出多个第一区与多个第二区；

形成多个主动组件于该基板上，且该些主动组件位于该些第一区内，其中各该些主动组件具有一闸极、一主动层、一汲极及一源极，其中该主动层电性连接该汲极与该源极；

于该基板上形成一保护层覆盖该些主动组件，且该保护层具有多个第一开口，其中各该些开口分别暴露相对应的各该些主动组件的该汲极；

形成一光阻材料层于该保护层上，该光阻材料层掺杂有多个微粒，以于该光阻材料层的表面上构成多个凸起图案，其中至少部分该些微粒的粒径大于该光阻材料层的一厚度，且该些凸起图案至少位于该些第一区内；

图案化该光阻材料层，以形成多个第二开口，其中该些第二开口暴露出该些第一开口；

形成多个透明电极于该基板上，其中各该些透明电极依序通过该第二开口及该第一开口而与相对应的各该些主动组件的该汲极电性连接，且覆盖该光阻材料层的该些透明电极共形于该些凸起图案；以及

形成多个反射电极于共形该些凸起图案的该些透明电极上，且该些反射电极共形于该些凸起图案。

10. 根据权利要求9所述的主动组件数组基板的制作方法，其特征在于：其中图案化该光阻材料层的方法更包括于该些第二区内形成多个第三开口，其中该些第三开口暴露出位于该些第二区内的该保护层。

11. 根据权利要求10所述的主动组件数组基板的制作方法，其特征在于：其中该些透明电极透过该些第三开口而与该保护层连接。

12. 根据权利要求9所述的主动组件数组基板的制作方法，其特征在于：其中形成该掺杂有该些微粒的光阻材料层于该保护层的方法包括旋转涂布法或喷墨法。

13. 根据权利要求9所述的主动组件数组基板的制作方法，其特征在于：其中该光阻材料层位于该些第一区内与该些第二区内时，该些凸起图案位于该些第一区内及该些第二区内。