[发明专利]一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法

权利要求书

1.一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法，其特征在于：在三氯氢硅合成炉、精馏塔、氯化氢合成炉之间设置循环的液流通道，所述的液流通道包括依次连接的冷流槽、三氯氢硅合成炉夹套、氯化氢合成炉夹套、热流槽、精馏塔上的夹套，其中三氯氢硅合成炉夹套与氯化氢合成炉夹套并联在冷流槽与热流槽之间，通过控制系统的控制，利用液流通道中的传热介质将氯化氢合成炉及三氯氢硅合成炉中的热量移用于精馏塔中三氯氢硅的精馏提纯，实现系统热量的循环利用。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的热流槽上部还设有溢流管道，所述的溢流管道连接一气液热交换器，所述的气液热交换器将溢流管道中传热介质的热量用于氮气的预热，氮气通过所述的气液热交换器预热后进入氮气加热装置。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述的热流槽上设有温度传感器及补液管道，当温度传感器检测到热流槽内液温超过80-85℃时，系统控制补液管道向热流槽内补加冷传热介质调节液温，使其能够以80-85℃的预设温度用于精馏塔塔釜的精馏，当液位达到最高值，传热介质从溢流管道排出。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：所述的三氯氢硅合成炉及氯化氢合成炉上设有温度传感器，冷流槽上设有调节阀，系统通过控制冷流槽上调节阀的开度，控制循环液流量，实现对三氯氢硅合成炉及氯化氢合成炉内温度的准确控制。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：从气液热交换器中排出的传热介质进入与补液管道相连的储液装置用于调节热流槽内的液温。

6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述的气液热交换器为螺旋盘管热交换器、螺旋盘管板热交换器或内展翅片换热器。

7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述的氮气加热装置为氮气电加热器，经预热后的氮气进入氮气电加热器后加热至140-160℃用于干燥硅粉，优选150℃。

8.根据权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于：所述的传热介质为水或油。

9.根据权利要求1-7所述的方法，其特征在于：所述的热流槽分为两室，其中室1的进水口连接氯化氢合成炉夹套，出水口通过溢流管道与气液热交换器连接；室2的进水口连接三氯氢硅合成炉夹套，出水口连接精馏塔夹套，此外储液装置通过补液管道与室2连接。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：所述的室1与室2的体积比为1∶2-2∶1，优选2∶3-4∶3，更优选5∶7。