[发明专利]具有复合空穴传输层的有机电致发光器件及其制造方法无效
申请号: | 201010597815.4 | 申请日: | 2010-12-21 |
公开(公告)号: | CN102088062A | 公开(公告)日: | 2011-06-08 |
发明(设计)人: | 俞东斌;蒋雪茵;周帆;陈雪;王蕊;张志林 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/54;H01L51/56 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人: | 何文欣 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 复合 空穴 传输 有机 电致发光 器件 及其 制造 方法 | ||
1. 一种具有复合空穴传输层的有机电致发光器件,包括一个ITO玻璃基板(1),其上依次设有ITO修饰层(2)、空穴传输层(3)、发光层(4)、电子传输层(5)和复合阴极(6),其特征在于,所述空穴传输层(3)为复合空穴传输层,所述复合空穴传输层由具有高空穴迁移率的材料NPB和具有低空穴迁移率的材料m-MTDATA掺杂形成,所述空穴传输层(3)中m-MTDATA的掺杂比为1~7 mol%。
2. 根据权利要求1所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件,其特征在于,所述ITO修饰层(2)采用的材料为MoO3、WO3或是Ag2O的任意一种。
3. 根据权利要求1所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件,其特征在于,所述发光层(4)采用的材料为Alq3。
4. 根据权利要求1所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件,其特征在于,所述电子传输层(5)采用的材料为Alq3、Bphen、BCP、PDB中任意一种。
5. 根据权利要求1所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件,其特征在于,所述复合阴极(6) 采用的材料为LiF/Al、CsOx/Al、Mg-Ag中任意一种。
6. 根据权利要求1所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件,其特征在于,采用ITO/MoO3/[NPB:m-MTDATA(x mol%)]/ Alq3/(LiF/Al)结构。
7. 一种权利要求1所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件的制造方法,其特征在于,包括下述步骤:
a.选择ITO玻璃基板(1),清洗后烘干,并用UV-Ozone处理;
b.采用真空蒸发的方法,在所述ITO玻璃基板(1)上蒸镀ITO修饰层(2);
c.采用真空双源共蒸的方法,在所述ITO修饰层(2)上制备空穴传输层(3);
d.采用真空蒸发的方法,在所述空穴传输层(3)上蒸镀发光层(4);
e.采用真空蒸发的方法,在所述发光层(4) 上蒸镀电子传输层(5);
f.采用真空蒸发的方法,在所述电子传输层(5)上蒸镀复合阴极(6)。
8. 根据权利要求7所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件的制造方法,其特征在于,所述步骤c中采用真空双源共蒸的方法时,所述NPB和m-MTDATA两种材料的蒸发速率为0.01 nm/s~1 nm/s。
9. 根据权利要求7所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件的制造方法,其特征在于,所述步骤a中选择所述ITO玻璃基板(1)的有效面积为5 mm×5 mm、表面电阻为10 Ω/□,所述ITO玻璃先用去污粉清洗,再依次用丙酮、无水乙醇、去离子水超声清洗30 min,在烘箱中烘干,进行UV-Ozone处理后,放入真空蒸发设备。
10. 根据权利要求9所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件的制造方法,其特征在于,所述步骤b处于4×10-4 Pa真空环境中,在所述的ITO玻璃基板(1)上蒸镀MoO3层为ITO修饰层(2),其厚度为4 nm。
11. 根据权利要求10所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件的制造方法,其特征在于,所述步骤c中使用有机物掩膜板,在所述ITO修饰层(2)上,采用双源共蒸的方法蒸镀复合空穴传输层(3),其中m-MTDATA的掺杂比为从0 mol%~7 mol%,复合空穴传输(3)的厚度为50 nm。
12. 根据权利要求11所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件的制造方法,其特征在于,所述步骤d和步骤e中,在所述复合空穴传输层(3)上蒸镀Alq3层作为发光层(4)兼做电子传输层(5),其厚度为60 nm。
13. 根据权利要求12所述的具有复合空穴传输层的有机电致发光器件的制造方法,其特征在于,所述步骤f中改换电极掩膜板,在所述电子传输层(5)上蒸镀复合阴极(6),先蒸镀LiF,其厚度为1 nm,再在LiF层上蒸镀Al电极层,其厚度为100 nm。
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