[发明专利]用于载板架的夹具、载板架和基板的固定方法无效

专利信息
申请号: 201010593927.2 申请日: 2010-12-09
公开(公告)号: CN102560380A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 朱兴华;苏新虹 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/50
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 用于 载板架 夹具 固定 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及机械技术领域,尤其涉及一种用于载板架的夹具、载板架和基板的固定方法。

背景技术

在电路板制作过程中,当进行金属喷溅处理时,所有待处理基板均通过载板架上的夹具固定在载板架上,载板架将待处理基板带入喷溅腔进行喷溅处理。现有的夹具通常为面式弹片结构,夹具的一端通过螺母固定在载板架上,且通常能够围绕固定端的螺母进行转动。使用时,待处理基板被夹具未固定的一端夹设在夹具和载板架之间。

进行金属喷溅处理时,由于载板架承载着待处理基板,载板架和待处理基板处于同一种环境,因此,在基板被喷溅上一层金属膜的同时,载板架及夹具上也将被喷溅上一层金属膜,而且,夹具和基板上的金属膜将成片致密连接。这样,将造成夹具无法灵活转动或抬起,需通过外力强行将夹具与基板之间的金属薄膜断裂以使夹具能够转动或抬起后,才能取下基板。而且,如此多次以后,易使夹具产生不可恢复的形变,导致夹具的对基板的固定力量不够,进行喷溅处理后,易造成基板脱离或移动,导致停机和产品质量隐患。此外,还可能使基板受损。

发明内容

本发明的实施例的主要目的在于,提供一种用于载板架的夹具、载板系统和基板的固定方法,能够在夹具被喷溅上薄膜后,依然能够夹紧基板并且灵活移动。

为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:

一种用于载板架的夹具,包括:

夹具主体、销轴、和弹簧;其中,

所述夹具主体上在第一侧面具有凹部,所述凹部的底部具有穿透所述夹具主体的第二侧面的通孔,所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸;

所述销轴具有第一端和第二端,所述第一端设有凸缘,所述第二端能够穿过所述夹具主体的凹部和通孔固定到所述载板架;

所述弹簧套设在所述销轴上,并被限制在所述凸缘与所述凹部的底部之间。

一种载板系统,包括:

载板架;和本发明实施例提供的夹具;

其中,所述夹具的第二端能够穿过所述夹具主体的凹部和通孔而固定到所述载板架,从而能够将基板夹紧在所述载板架与所述夹具的第二侧面之间。

一种基板的固定方法,通过本发明实施例提供的载板系统将所述基板固定在载板架上。

采用上述技术方案后,本发明实施例提供的用于载板架的夹具、载板系统和固定基板的方法,夹具主体通过弹簧与销轴相连接,在销轴通过第二端固定在载板架后,夹具主体静止,在销轴的轴向方向,夹具主体受到弹簧的弹力作用而将基板夹紧。当夹具主体受到沿销轴轴向的外力而沿轴向略有移动时,能够变形的弹簧可随着夹具主体的移动而相应伸缩而同时保持夹紧基板,即,夹具主体相对载板架能够灵活移动一段距离。这样,当对基板进行金属喷溅处理等镀膜操作时,在喷溅力冲击以及薄膜的重力作用下,夹具主体能够沿销轴的轴向略有移动,因此,夹具主体与基板之间不会形成牢固成片的致密薄膜,即不会影响夹具主体的灵活移动。而且,夹具主体的移动只是导致弹簧的压缩量发生稍微改变,不会造成夹紧力的明显变化,依然能够夹紧基板。

附图说明

图1为本发明实施例的用于载板架的夹具的结构示意图;

图2为图1所示的夹具的夹具主体的结构示意图;

图3为图1所示的夹具的销轴的结构示意图。

具体实施方式

本发明提供一种用于载板架的夹具,其特征在于,包括:

夹具主体、销轴、和弹簧;其中,

所述夹具主体上在第一侧面具有凹部,所述凹部的底部具有穿透所述夹具主体的第二侧面的通孔,所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸;

所述销轴具有第一端和第二端,所述第一端设有凸缘,所述第二端能够穿过所述夹具主体的凹部和通孔而固定到所述载板架;

所述弹簧套设在所述销轴上,并被限制在所述凸缘与所述凹部的底部之间。

优选地,在本发明的各实施例中,当所述销轴固定到所述载板架时,所述凸缘与所述凹部底部的距离小于或等于所述弹簧处于自然状态的长度。这样,所述夹具可在工作时通过弹簧弹力保持夹紧基板。

优选地,在本发明的各实施例中,所述销轴的第二端的横截面形状为非圆形形状或半圆形状。其中,非圆形形状可为多边形(例如方形、三角形)或其它适合形状;而半圆形状可为圆形的一部分,即,也可为大半圆或小半圆形状(即,扇区)。这样,销轴第二端的形状可与载板架的对应固定结构的形状相配合,以防止销轴以及夹具在工作时发生不希望出现的旋转。

优选地,在本发明的各实施例中,所述通孔和/或所述凹部的截面为圆形。

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