[发明专利]用于载板架的夹具、载板架和基板的固定方法无效
| 申请号: | 201010593927.2 | 申请日: | 2010-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN102560380A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
| 发明(设计)人: | 朱兴华;苏新虹 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 载板架 夹具 固定 方法 | ||
1.一种用于载板架的夹具,其特征在于,包括:
夹具主体、销轴、和弹簧;其中,
所述夹具主体上在第一侧面具有凹部,所述凹部的底部具有穿透所述夹具主体的第二侧面的通孔,所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸;
所述销轴具有第一端和第二端,所述第一端设有凸缘,所述第二端能够穿过所述夹具主体的凹部和通孔而固定到所述载板架;
所述弹簧套设在所述销轴上,并被限制在所述凸缘与所述凹部的底部之间。
2.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,当所述销轴固定到所述载板架时,所述凸缘与所述凹部底部的距离小于或等于所述弹簧处于自然状态的长度。
3.根据权利要求1或2所述的夹具,其特征在于,所述销轴的第二端的横截面形状为非圆形形状或半圆形状。
4.根据前述权利要求中任一项所述的夹具,其特征在于,所述通孔和/或所述凹部的截面为圆形。
5.根据前述权利要求中任一项所述的夹具,其特征在于,所述通孔的截面最大尺寸比所述销轴的截面最大尺寸大0.2至0.5毫米。
6.根据前述权利要求中任一项所述的夹具,其特征在于,所述销轴的第二端上设有外螺纹,用于固定到所述载板架。
7.根据前述权利要求中任一项所述的夹具,其特征在于,还包括用于覆盖所述凹部的凹部盖。
8.根据权利要求7所述的夹具,其特征在于:所述凹部盖上设有外螺纹,所述凹部的内壁上设有能够与所述凹部盖上的外螺纹相咬合的内螺纹。
9.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于:包括绝缘层或助脱膜,其设置在以下中的至少一种上:所述夹具主体的第二侧面、所述通孔的内侧、所述销轴的第二端。
10.一种载板系统,其特征在于,包括:
载板架;和如权利要求1至9任一项所述的夹具;
其中,所述夹具的第二端能够穿过所述夹具主体的凹部和通孔而固定到所述载板架,从而能够将基板夹紧在所述载板架与所述夹具的第二侧面之间。
11.根据权利要求10所述的载板系统,其特征在于:所述载板架上设有架通孔或架凹部,所述夹具的销轴的第二端穿过所述夹具主体的通孔后通过所述架通孔或架凹部而固定到所述载板架。
12.根据权利要求11所述的载板架,其特征在于:所述架通孔或架凹部的内壁上设有内螺纹,用于固定所述夹具的销轴的第二端。
13.根据权利要求10或11所述的载板架,其特征在于:所述架通孔或架凹部的横截面形状与所述第二端的横截面形状相对应,且为非圆形形状或半圆形状。
14.一种基板的固定方法,其特征在于,通过如权利要求10至13任一项所述的载板系统将所述基板固定在载板架上。
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