[发明专利]一种复合粘结剂及其在制备烧结靶上的应用

权利要求书

1.一种复合粘结剂，主要由三种成分构成：纯水或去离子水、聚乙烯醇和聚乙二醇；其中聚乙二醇选取分子量为800-2000，聚乙烯醇选取分子量为800-10000，粘接剂配方为：聚乙二醇体积与聚乙烯醇体积比为1-9，聚乙烯醇在水中的重量含量为1%-5%。

2.如权利要求1所述粘结剂的应用方法，其特征在于是将粘接剂加入AZO粉末中进行掺脂，形成成型块，掺脂后聚乙烯醇和聚乙二醇占整体质量的百分比为1%-10%。

3.如权利要求2所述的粘结剂应用方法，其特征在于添加好粘结剂的成型块进行溶脱脂，溶剂采用二氯甲烷，二氯甲烷与无水酒精的混合物，乙酸乙酯，四氯化碳中的任何一种，温度0-60℃，时间4-48小时。

4.如权利要求3所述的粘结剂的应用方法，其特征在于所述溶脱脂过程完成后进行热脱脂，热脱脂可以是真空热脱脂，也可以是流动气氛的热脱脂，最高温度600℃，热脱脂时间4-48小时。

5.如权利要求4所述的粘结剂应用方法，其特征在于所述热脱脂完的素坯，在烧结炉中进行烧结，烧结气氛可以是空气，也可以是氧气，烧结温度1300℃-1500℃，烧结时间4-48小时，室温出炉。

6.如权利要求2所述的粘结剂应用方法，其特征在于该方法还适用于ITO、IGZO、SnO₂、TiO₂、TiO、SiO₂、SiO烧结靶材的制备。