[发明专利]一种钼靶材的加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及靶材加工领域，特别是一种钼靶材的加工方法。

背景技术

钼是一种具有高沸点及高熔点的难熔金属，主要用于钢铁工业，其中的大部分是以工业氧化钼压块后直接用于炼钢或铸铁，少部分熔炼成钼铁，后再用于炼钢。在不锈钢中加入钼，能改善钢的耐腐蚀性；在铸铁中加入钼，能提高铁的强度和耐磨性能。

目前，低合金钢中的钼含量不大于1％，但这方面的消费却占钼总消费量的50％左右；而含钼18％的镍基超合金由于具有熔点高、密度低和热胀系数小等特性，被广泛用于制造航空和航天的各种高温部件。

但是，现有技术制作的钼靶材硬度高、脆性大，易产生加工硬化，加工时特别容易在工件边缘发生崩裂现象。在2000年4月出版的《中国钼业》第24卷第2期第52～53页中《钼及其合金的切削加工》一文中，作者仅是粗略讨论了钼及其合金的加工特点，并未给出具体的加工方案。目前对于钼靶材的机械加工还没有成熟的方法，在加工过程中常发生钼材料的开裂，甚至崩裂的问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种钼靶材的加工方法，避免现有技术加工钼靶材时出现钼靶材裂缝或崩裂的问题。

为解决上述问题，本发明采用如下技术方案：

一种钼靶材的加工方法，包括：提供钼靶材；提供冷却介质，所述冷却介质包括乳化液和水；将所述冷却介质均匀地喷射于钼靶材表面和加工刀具表面；用加工刀具对钼靶材表面进行切削，所述加工刀具转速为2500～3000转/分钟，进给量为小于等于0.2毫米/次，进给速度为300～350毫米/分钟。

优选的，所述加工刀具为硬质合金刀具。

优选的，所述硬质合金刀具为面铣刀，直径为45毫米～55毫米。

优选的，所述面铣刀直径为50毫米。

优选的，所述乳化液和水的比例为1∶4～1∶6。

优选的，所述乳化液和水的比例为1∶5。

优选的，切削加工过程中，所述冷却介质的喷射流量为500～600毫升/分钟。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明提供的切削加工方法在钼靶材切削加工过程中，采用转速为2500～3000转/分钟，进给量为小于等于0.2毫米/次，进给速度为300～350毫米/分钟的刀具对靶材进行切销；高转速配合低进给量，减小加工刀具对钼靶材的冲击力，避免产生大的应力；同时在加工过程中喷射冷却介质，所述冷却介质为乳化液和水以1∶4～1∶6的配比混合形成的混合液体，增强了冷却介质的冷却润滑效果，使得钼靶材在加工过程中不出现裂缝或崩裂现象，保证钼靶材的切削加工质量，提供工作效率。

附图说明

图1是本发明钼靶材切削加工方法的具体实施例流程图。

具体实施方式

发明人在加工钼靶材的过程中发现，国内加工钼靶材一般采用普通铣削方法，对加工参数没有特别研究，设定比较随意，一般与加工其他靶材如铬靶材、钛靶材相同；比如加工刀具转速为450～550转/分钟，进给量为0.8～1.0毫米/次，进给速度为50～100毫米/分钟，冷却介质中乳化液与水的比例为1∶10～1∶20。但由于钼靶材在常温下硬度高、脆性大，因此利用现有技术加工钼靶材时，容易产生大的应力，并且冷却介质的冷却润滑效果无法保证，容易造成钼靶材开裂，甚至崩裂，造成生产率下降，成本上升。

针对上述问题，发明人提出了一种钼靶材的加工方法，通过利用高转速、低进给量，同时在加工过程中喷射冷却介质，使得钼靶材在加工过程中不出现开裂或崩裂。

下面将结合附图1，对具体方案进行详细描述。

如步骤S11所述，提供钼靶材；

本实施例中，由于靶材一般是作为溅射之用，纯度要求比较高，因此选用的所述钼靶材纯度大于等于99.999％；所述钼靶材的形状可以根据实际使用需要，设置为圆形，方形或其他对称形状或不对称形状，优选为圆形；所述钼靶材的尺寸为比溅射需要的尺寸大了一个加工余量，通常所述加工余量需要通过切削加工去除。所述加工余量可以是1～5毫米。作为一个实施例，所述加工余量为1毫米，所述钼靶材为1米×1米的矩形板靶材。

如步骤S12所述，提供冷却介质；

通常，将所述冷却介质放置于切削车床的切削液箱或切削液槽中。

由于加工过程中，加工刀具切削靶材，会产生大量热量，而且靶材与加工刀具之间具有粘附性，因此，在加工过程中，需要对加工刀具和靶材进行冷却润滑，避免靶材崩裂、加工刀具损坏。