[发明专利]一种钼靶材的加工方法无效
申请号: | 201010592928.5 | 申请日: | 2010-12-16 |
公开(公告)号: | CN102059582A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B23Q11/10 | 分类号: | B23Q11/10;B23Q15/007 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钼靶材 加工 方法 | ||
1.一种钼靶材的加工方法,其特征在于,包括:
提供钼靶材;
提供冷却介质,所述冷却介质包括乳化液和水;
将所述冷却介质均匀地喷射于钼靶材表面和加工刀具表面;
用加工刀具对钼靶材表面进行切削,所述加工刀具转速为2500~3000转/分钟,进给量为小于等于0.2毫米/次,进给速度为300~350毫米/分钟。
2.根据权利要求1所述钼靶材的加工方法,其特征在于,所述加工刀具为硬质合金刀具。
3.根据权利要求2所述钼靶材的加工方法,其特征在于,所述硬质合金刀具为面铣刀,直径为45毫米~55毫米。
4.根据权利要求3所述钼靶材的加工方法,其特征在于,所述面铣刀直径为50毫米。
5.根据权利要求1所述钼靶材的加工方法,其特征在于,所述乳化液和水的比例为1∶4~1∶6。
6.根据权利要求5所述钼靶材的加工方法,其特征在于,所述乳化液和水的比例为1∶5。
7.根据权利要求1所述钼靶材的加工方法,其特征在于,切削加工过程中,所述冷却介质的喷射流量为500~600毫升/分钟。
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