[发明专利]壳体及其制造方法无效
| 申请号: | 201010584945.4 | 申请日: | 2010-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN102548308A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
| 发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;陈晓强 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | H05K5/04 | 分类号: | H05K5/04;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
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| 地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 壳体 及其 制造 方法 | ||
1.一种壳体,包括铝/镁金属基体,其特征在于:于该铝/镁金属基体表面磁控溅射防腐蚀层,所述防腐蚀层包括依次形成于铝/镁金属基体表面的铝铜膜和氮化铝梯度膜,所述氮化铝梯度膜中N原子的数量百分含量由靠近铝/镁金属基体至远离铝/镁金属基体的方向呈梯度增加。
2.如权利要求1所述的壳体,其特征在于:所述铝铜膜的厚度为1.0~3.0μm。
3.如权利要求1所述的壳体,其特征在于:所述氮化铝梯度膜的厚度为0.5~1.0μm。
4.如权利要求1所述的壳体,其特征在于:所述铝/镁金属基体的材质为铝、铝合金、镁或镁合金。
5.如权利要求1所述的壳体,其特征在于:于所述防腐蚀层上磁控溅射色彩层,该色彩层为氮钛层或氮铬层。
6.一种壳体的制造方法,包括以下步骤:
提供铝/镁金属基体;
在该铝/镁金属基体上磁控溅射防腐蚀层,所述防腐蚀层包括依次形成于铝/镁金属基体表面的铝铜膜和氮化铝梯度膜,所述氮化铝梯度膜中N原子的原子百分含量由靠近铝/镁金属基体至远离铝/镁金属基体的方向呈梯度增加。
7.如权利要求6所述的壳体的制造方法,其特征在于:磁控溅射所述铝铜膜的工艺参数为:以氩气为工作气体,其流量为100~300sccm,设置占空比为30%~80%,于铝/镁金属基体上施加-50~-200V的偏压,选择铝铜合金靶材,所述合金靶中铜的原子百分含量为0.5%~25%,设置其功率为8~13kw,溅射温度为100~150℃,溅射时间为10~30min。
8.如权利要求6所述的壳体的制造方法,其特征在于:磁控溅射所述氮化铝梯度膜的工艺参数为:以氩气为工作气体,其流量为50~300sccm,以氮气为反应气体,设置氮气的初始流量为10~150sccm,在铝/镁金属基体上施加-100~-400V的偏压,选择铝铜合金靶材,所述铝铜合金靶中铜的原子百分含量为0.5%~25%,设置其功率为2~16kw,每沉积10~15min将氮气的流量增大2~20sccm,沉积时间控制为60~120min。
9.如权利要求6所述的壳体的制造方法,其特征在于:于该防腐蚀层上形成色彩层,其工艺参数为:开启一钛靶或铬靶的电源,设置其功率8~10kw,设置氮气流量为20~150sccm,溅射时间为20~30min。
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