[发明专利]单晶圆干燥装置及方法

权利要求书

1.一种单晶圆干燥装置，包括：工艺腔体(7)和设置在所述工艺腔体(7)中的晶圆支撑(20)，其特征在于，还包括：一端连接于所述工艺腔体(7)外壁上的进气管(6)和连接在所述进气管(6)上的第一氮气输入管路(3)，所述进气管(6)的另一端与用于装载异丙酮的蒸汽腔体(2)连接，所述蒸汽腔体(2)内设有加热装置(1)，所述蒸汽腔体(2)出口和所述第一氮气输入管路(3)内均设有气体质量流量计。

2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，还包括：伸入所述工艺腔体(7)的第二氮气输入管路(13)。

3.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述进气管(6)外壁设有保温层(5)。

4.如权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，所述进气管(6)上设有气泵。

5.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述装置还包括：去静电装置(16)，所述去静电装置(16)设置于所述工艺腔体(7)外，与所述工艺腔体(7)外壁相连；或设置于所述工艺腔体(7)内。

6.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述装置还设有排气管(18)，设置于所述工艺腔体(7)外壁，在所述排气管(18)上设有排气冷却盘管(19)。

7.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述工艺腔体(7)内设有异丙酮冷却盘管(10)，并在所述工艺腔体(7)内低于所述异丙酮冷却盘管(10)处设有异丙酮回收盘(9)，所述异丙酮回收盘(9)底端设有异丙酮回收管(14)。

8.如权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，所述装置还包括工艺液体输入管(11)，所述工艺液体输入管(11)伸入所述工艺腔体(7)内，所述工艺腔体(7)内所述异丙酮回收盘(9)和所述晶圆支撑(20)之间设有工艺液体回收盘(8)，所述工艺液体回收盘(8)底端设有工艺液体回收管(15)。

9.一种基于如权利要求1-8所述的干燥装置的干燥方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：在进行晶圆的清洗工艺后，使晶圆支撑装置(20)带动晶圆旋转，直至晶圆上表面液膜达到设定厚度，通过第一氮气输入管路(3)输入氮气，并经进气管(6)进入工艺腔体(7)，直至氮气已充满整个工艺腔体(7)；

S2：启动加热装置(1)，产生异丙酮蒸汽，与第一氮气输入管路(3)输入的氮气一同进入工艺腔体(7)，使晶圆上表面的液膜蒸发。

10.如权利要求9所述的干燥方法，其特征在于，步骤S2中，启动加热装置(1)后通过第二氮气输入管路(13)输入热氮气。