[发明专利]金属蚀刻终点侦测方法及金属蚀刻终点侦测机

权利要求书

1.一种金属蚀刻终点侦测方法，应用于一金属蚀刻终点侦测机，其特征在于：包含：

对金属膜进行扫描，以获取扫描区域中，所述金属膜的透光面积占所述扫描区域的比例；

判断所述金属膜的透光面积占所述扫描区域的比例是否达到一预定比例；

当达到所述预定比例时，确定当前对所述金属膜已蚀刻的时间为所述金属膜的蚀刻终点时间。

2.如权利要求1所述的金属蚀刻终点侦测方法，其特征在于：在判断所述金属膜的透光面积占所述扫描区域的比例是否达到所述预定比例的步骤中，若判定未达到所述预定比例，则重复执行所述对金属膜进行扫描的步骤。

3.如权利要求1所述的金属蚀刻终点侦测方法，其特征在于：所述金属蚀刻终点侦测机包括一用于对金属膜进行扫描的扫描仪，且所述扫描仪以其长度方向垂直于承载所述金属膜的基板的传送方向设置。

4.如权利要求1所述的金属蚀刻终点侦测方法，其特征在于：所述金属蚀刻终点侦测机包括一用于对金属膜进行扫描的扫描仪，且所述扫描仪的长度大于或等于承载所述金属膜的基板的宽度，以使所述扫描仪获得的所述扫描区域横跨所述基板的宽度。

5.如权利要求1所述的金属蚀刻终点侦测方法，其特征在于：所述预定比例为50％～75％。

6.一种金属蚀刻终点侦测机，其特征在于：包含：

获取模块，用于对金属膜进行扫描，以获取扫描区域中，所述金属膜的透光面积占所述扫描区域的比例；

判断模块，用于判断所述金属膜的透光面积占所述扫描区域的比例是否达到一预定比例；

确定模块，用于在所述判断模块判定所述金属膜的透光面积占所述扫描区域的比例达到所述预定比例时，确定当前对金属膜已蚀刻的时间为该金属膜的蚀刻终点时间。

7.如权利要求6所述的金属蚀刻终点侦测机，其特征在于：若所述判断模块判定所述金属膜的透光面积占所述扫描区域的比例未达到所述预定比例，则触发所述获取模块对所述金属膜进行扫描。

8.如权利要求6所述的金属蚀刻终点侦测机，其特征在于：所述获取模块包括：

扫描仪，用于对所述金属膜进行扫描，以获得所述金属膜的透光面积；

比例获取单元，用于获取所述扫描区域中，所述金属膜的所述透光面积占所述扫描区域的比例。

9.如权利要求8所述的金属蚀刻终点侦测机，其特征在于：所述扫描仪的长度大于或等于承载所述金属膜的基板的宽度，以使所述扫描仪获得的所述扫描区域横跨所述基板的宽度。

10.如权利要求6所述的金属蚀刻终点侦测机，其特征在于：所述预定比例为50％～75％。