[发明专利]一种风刀及具有所述风刀的硅片上料装置

权利要求书

1.一种风刀，包括进风部，所述进风部内部成形有进风道，所述进风部还开设有与所述进风道相贯通的进风口，其特征在于：还包括出风部，所述出风部与所述进风部的一端相连接，所述出风部内部成形有出风道，所述出风道与所述进风道相贯通，所述出风部的一侧开设有与所述出风道相贯通的多个出风口。

2.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于：所述进风部和出风部均为柱状，所述出风部的中部与所述进风部的一端相连接并垂直于所述进风部，所述进风口开设在所述进风部的另一端。

3.根据权利要求2所述的风刀，其特征在于：所述进风部内部沿其轴线成形有所述进风道，所述出风部内部沿其轴线成形有所述出风道，所述出风道与所述进风道相垂直并且相贯通。

4.根据权利要求2所述的风刀，其特征在于：所述进风部和出风部均为长方柱状或正方柱状。

5.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于：多个所述出风口并列均匀排布在所述出风部上并与所述出风道相垂直。

6.一种硅片上料装置，包括机架、风刀和将所述风刀固定在所述机架上的支架，其特征在于：所述风刀为权利要求1-5中任一项所述的风刀，所述支架包括相互垂直的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部与所述风刀相连接，所述第二连接部与所述机架相连接，所述第一连接部和所述第二连接部通过一折弯部连接。

7.根据权利要求6所述的硅片上料装置，其特征在于：所述折弯部包括相互垂直的第一臂和第二臂，所述第一臂与所述第一连接部垂直连接，所述第二臂与所述第二连接部垂直连接。8、根据权利要求7所述的硅片上料装置，其特征在于：所述第二连接部、第一臂和第二臂均位于同一平面内，所述第一连接部与所述平面垂直。

8.根据权利要求6所述的硅片上料装置，其特征在于：还包括装载硅片的承载盒，所述风刀位于所述承载盒的侧面的中部，所述风刀的多个所述出风口朝向所述承载盒。

9.根据权利要求6所述的硅片上料装置，其特征在于：所述承载盒两个相对侧的中部分别设有一所述风刀。