[发明专利]面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法

权利要求书

1.一种面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法,其特征在于：利用ZnO纳米线作为敏感元件，利用ZnO纳米线表面受到外力的作用下时会发生机械变形，形成压电效应而产生表面电荷，通过测量电荷电势的大小准确辨别受到外力的大小，利用介电泳技术实现单根和多根ZnO纳米线准确装配到源极和漏极之间。

2.按权利要求1所述的面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法,其特征在于：所述ZnO经预处理；所述预处理方法为：将酒精分析纯溶液与ZnO混合，经超声振荡和脉冲后，实现ZnO有效分散，即完成预处理。

3.按权利要求2所述的面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法,其特征在于：所述酒精溶液为99.9%的分析纯溶液；所述ZnO与酒精分析纯溶液质量比为1000～1100：1。

4.按权利要求2所述的面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法,其特征在于：所述预处理方法的具体步骤为：将经混合好的ZnO酒精溶液放入超声波振荡器中超声60-90分钟，加热到30 摄氏度，然后取出静止1小时后得到均匀半透明溶液，待用。

5.按权利要求4所述的面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法,其特征在于：所述超声波振荡频率为2MHz，峰峰值电压幅度为10V，电泳持续时间为5秒。

6.按权利要求1所述的面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法,其特征在于：在利用介电泳装配ZnO过程中，电场所需的交变电压信号及频率通过探针施加，电泳参数如电压、频率、持续时间等都可根据实验情况来调节与监控；在进行介电泳操作时，采用微量移液器取2微升预处理后的ZnO溶液，滴定到微电极间隙后，立即对该电极施加正弦交流信号,其频率为1MHz,峰峰值电压为10Vp-p。