[发明专利]一种通过粒子束提高精密加工精度的方法无效
| 申请号： | 201010554326.0 | 申请日： | 2010-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102476405A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 杜冲 | 申请（专利权）人： | 大连创达技术交易市场有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116011 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 通过 粒子束 提高 精密 加工 精度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种通过粒子束提高精密加工精度的方法，其特征在于：包括下列步骤：
（1）利用SRIM 具有仿真功能的软件按照切深、表面粗糙度或其他加工要求对加工参数进行模拟；
（2）使用粒子束轰击或照射待加工单晶脆性材料表面，施以模拟结果所得的能量和剂量；
（3）利用超精密切削技术对粒子束轰击后的单晶材料进行超精密切削加工，加工深度小于粒子束轰击或照射的深度；
（4）测试表征加工后的材料表面质量，对比加工表面质量改善情况。
2.根据权利要求 1 所述的一种通过粒子束提高精密加工精度的方法，其特征是，粒子束为质子束或氦离子束。
3.根据权利要求 1 所述的一种通过粒子束提高精密加工精度的方法，其特征是，所述的单晶脆性材料是单晶硅或单晶锗。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连创达技术交易市场有限公司，未经大连创达技术交易市场有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010554326.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新型机械成型鼓
- 下一篇：光纤激光精密切割单晶硅的方法
