[发明专利]磁力悬浮传送系统

说明书

相关申请案交叉参考

本申请案主张在韩国知识产权局提出申请的以下韩国专利申请案的优先权：于2009年10月28日提出申请的第10-2009-0102729号、于2010年10月28日提出申请的第10-2009-0102730号、以及于2009年10月28日提出申请的第10-2009-0102731号，这些韩国专利申请案的揭露内容以引用的方式全文并入本文中。

技术领域

本发明涉及一种磁力悬浮传送系统，更具体而言，涉及一种如下的磁力悬浮传送系统：其在传送各种物体(包括传送盒)、特别是大尺寸的物体时采用磁力悬浮方法作为其中一种非接触型方法，从而解决由于摩擦及磨损而损坏组件的问题及造成噪声的问题以及解决产生微粒的问题，并且可容易且正确地控制悬浮单元。

背景技术

传送系统是一种用于传送物体的装置。此处，物体可不仅包括用于液晶显示器(liquid crystal display；LCD)、等离子体显示面板(plasma display panel；PDP)、有机发光二极管(organic light emitting diode；OLED)等的基板、用于半导体器件的晶圆、用于容置和支撑基板或晶圆的托盘、传送盒或载具，而且还包括各种物件，例如常用的盒子。以下，将以传送盒作为物体进行说明。

用于传送盒的传送系统分为接触型传送系统及非接触型传送系统。

接触型传送系统又分为传送机型传送系统、滚筒型传送系统、轨道型传送系统等。这种接触型传送系统可能会在传送过程中在结构上产生许多微粒。因此，例如，如果使用接触型传送系统来传送装载有LCD基板的传送盒，则基板及净化室可能会被微粒污染。

此外，接触型传送系统会在传送结构或输电结构的接触部件中产生磨损或摩擦，因此存在组件频繁地损坏、造成可怕的噪声、以及无法以高于预定水平的速度进行传送等问题。

相反，非接触型传送系统具有以下优点：其解决了由于摩擦及磨损而损坏组件的问题及造成噪声的问题并解决了产生微粒的问题，并且可以高速传送物体。因此，近来，人们一直在积极地研究非接触型传送系统。

作为非接触型传送系统，可考虑磁力悬浮传送系统。磁力悬浮技术是基于磁体(电磁体)的吸引及排斥。当前，已知一种应用磁力悬浮技术的磁悬浮列车。然而，磁悬浮列车的商业启动一直因各种问题而被推迟。

这样，磁力悬浮技术仅仅应用于载人的磁悬浮列车，而尚未应用于用于装载和传送物体(例如传送盒)的传送系统。因此，为将磁力悬浮技术应用到用于装载和传送物体(例如传送盒)的传送系统，需要在许多方面开发不同于磁悬浮列车技术的新技术。

尽管须在许多方面开发新技术，然而新技术的开发非常重要，因为在开发磁力悬浮传送系统时，预期应解决由于摩擦及磨损而损坏组件的问题、造成噪声的问题以及在传送各种物体(包括传送盒)、尤其是大尺寸的物体时产生微粒的问题。

同时，对于开发此种磁力悬浮传送系统而言，首要的是开发用于容易且正确地控制悬浮单元的技术。

另外，对于开发采用磁力悬浮技术来装载和传送物体的传送系统而言，当提供电力来操作悬浮单元的悬浮电磁体以及推进单元的推进电磁体时，会产生高频，从而造成震动。如果不适当地阻尼(或减小)此种震动，便难以保证传送主体的稳定传送并且在某些情形中还可能会损坏物体。因此，需要开发阻尼技术，以防止震动从悬浮电磁体或推进电磁体通过传送主体直接传递至装载单元。

此外，对于开发采用磁力悬浮技术来装载和传送物体的传送系统而言，需要提供许多用于保证装载有物体并沿轨道传送的传送主体被稳定地传送的手段，尤其是开发用于使传送主体在轨道上着陆时可通过传送主体与轨道之间的滚动接触而稳定着陆的技术。

发明内容

本发明提供一种磁力悬浮传送系统，其在传送各种物体(包括传送盒)、特别是大尺寸的物体时采用磁力悬浮方法作为其中一种非接触型方法，从而解决由于摩擦及磨损而损坏组件的问题及造成噪声的问题以及解决产生微粒的问题，并且还可容易且正确地控制悬浮单元。

本发明的另一方面提供一种磁力悬浮传送系统，其在传送各种物体(包括传送盒)、特别是大尺寸的物体时采用磁力悬浮方法作为其中一种非接触型方法，从而解决由于摩擦及磨损而损坏组件的问题及造成噪声的问题以及解决产生微粒的问题，并且还有效地阻尼通过装载有物体并沿轨道传送的传送主体传递至装载单元的震动。