[发明专利]一种贴片式固体激光器的调整装置及制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及固体激光器领域，具体涉及一种贴片式固体激光器的调整装置。此外，还涉及一种贴片式固体激光器的制造方法。

背景技术

随着半导体技术的日益发展和成熟，激光二极管(Laser Diode，简称LD)在功率、转换效率、波长扩展和运行寿命等方面已经有了很大的提高。由于LD具有量子效率高、可靠性高、使用寿命长、发射波长与激光介质吸收峰容易对应、激光输出光束质量好等特点，这就使得LD与泵浦技术相互结合，产生了LD泵浦固体激光器。它具有高效率、高光束质量、长寿命、全固化、结构紧凑和轻便等优势，因此越来越受到人们的关注。在医疗、通信、材料加工和科学研究等领域都有广泛的应用。

现今的LD泵浦固体激光器中的谐振腔，都是平凹腔结构，这种结构的谐振腔都是通过手动调节的方式对腔内晶体和光学元件进行位置的调节，不仅增加了调制过程的工作量和复杂度，而且容易产生精度误差，使输出的激光质量不够理想，生产效率较低，因此难以实现批量生产。

发明内容

本发明针对固体激光器制造现有的缺点，提出了一种贴片式固体激光器的调整装置以及制作方法，利用该装置和制造方法可提高固体激光器谐振腔的调节速率，提高生产效率，有利于实现批量化生产。

本发明解决上述技术问题所采取的技术方案具体如下面所描述：

一种贴片式固体激光器的调整装置，包括机械夹具以及真空泵，其中，所述机械夹具包括本体部，端面光滑且彼此平行的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部的端面和第二连接部的端面分别与形成谐振腔的激光晶体和倍频晶体接触，并且，所述第一连接部的端面和第二连接部的端面分别与所述本体部上开设的出气口相通，所述真空泵连接所述出气口。

所述本体部为环形的拱形结构，并且，在本体部中间设置有一个加强部。

所述第一连接部和第二连接部对称地设置在本体部的两端。

所述第一连接部的端面和所述第二连接部的端面之间的平行度小于1″。

所述第一连接部、所述第二连接部以及所述本体部由刚性材料构成。

一种采用上述调整装置制造贴片式固体激光器的制造方法，包含下列步骤：

(a)将LD泵浦光源固定在激光器基板上；

(b)将所述激光晶体和所述倍频晶体分别与所述机械夹具的第一连接部和第二连接部的端面相贴；

(c)利用所述真空泵进行抽真空，使所述激光晶体和所述倍频晶体分别与各自接触的所述第一连接部的端面和所述第二连接部的端面紧密吸附在一起；

(d)将所述激光晶体和所述倍频晶体固定在所述激光器基板上；以及，

(e)将所述机械夹具与所述激光晶体和所述倍频晶体脱离，形成贴片式固体激光器。

在步骤(e)中，将所述机械夹具与所述激光晶体和所述倍频晶体放入低温箱，使所述机械夹具与所述激光晶体和所述倍频晶体脱离。

由于采用了上述技术方案，使得本发明与传统技术相比具有以下优点和积极效果：

第一，由于本发明中机械夹具的第一连接部和第二连接部的端面互相平行，因此，可以通过调节端面的平行度调节构成谐振腔的两个晶体之间的平行度，调节方法简单方便并且准确。

第二，本发明对构成谐振腔的两晶体进行机械定位以后，机械夹具可与构成谐振腔的晶体脱离，并从调节系统中移除，拆卸方法简单可行，不会对光路产生影响，提高了生产效率，因而具有较好的技术效果。

附图说明

通过下面结合附图对其示例性实施例进行的描述，本发明上述特征和优点将会变得更加清楚和容易理解。

图1是本发明所述的贴片式固体激光器调整装置的应用示意图；

图2是本发明所述的贴片式固体激光器调整装置中机械夹具的剖面图；

图3是本发明所述的贴片式固体激光器制造方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的说明。

图1是本发明所述的贴片式固体激光器调整装置的应用示意图。如图所示，包括贴片式固体激光器的LD泵浦光源101、激光晶体102、倍频晶体103，以及所述调整装置的机械夹具104和真空泵105。