[发明专利]一种贴片式固体激光器的调整装置及制造方法

权利要求书

1.一种贴片式固体激光器的调整装置，其特征在于，包括机械夹具以及真空泵，其中，所述机械夹具包括本体部，端面光滑且彼此平行的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部的端面和第二连接部的端面分别与形成谐振腔的激光晶体和倍频晶体接触，并且，所述第一连接部的端面和第二连接部的端面分别与所述本体部上开设的出气口相通，所述真空泵连接所述出气口。

2.根据权利要求1所述的贴片式固体激光器的调整装置，其特征在于，所述本体部为环形的拱形结构，并且，在本体部中间设置有一个加强部。

3.根据权利要求1或2所述的贴片式固体激光器的调整装置，其特征在于，所述第一连接部和第二连接部对称地设置在本体部的两端。

4.根据权利要求3所述的贴片式固体激光器的调整装置，其特征在于，所述第一连接部的端面和所述第二连接部的端面之间的平行度小于1″。

5.根据权利要求4所述的贴片式固体激光器的调整装置，其特征在于，所述第一连接部、所述第二连接部以及所述本体部由刚性材料构成。

6.一种采用权利要求1～5任一所述的调整装置制造贴片式固体激光器的制造方法，包含下列步骤：

(a)将LD泵浦光源固定在激光器基板上；

(b)将所述激光晶体和所述倍频晶体分别与所述机械夹具的第一连接部和第二连接部的端面相贴；

(c)利用所述真空泵进行抽真空，使所述激光晶体和所述倍频晶体分别与各自接触的所述第一连接部的端面和所述第二连接部的端面紧密吸附在一起；

(d)将所述激光晶体和所述倍频晶体固定在所述激光器基板上；以及，

(e)将所述机械夹具与所述激光晶体和所述倍频晶体脱离，形成贴片式固体激光器。

7.根据权利要求6所述的贴片式固体激光器的制造方法，其特征在于，在步骤(e)中，将所述机械夹具与所述激光晶体和所述倍频晶体放入低温箱，使所述机械夹具与所述激光晶体和所述倍频晶体脱离。