[发明专利]被覆件及其制造方法

权利要求书

1.一种被覆件，包括基体，其特征在于：该被覆件还包括形成于该基体上的梯度润滑层，所述梯度润滑层为TiAlMoN层，所述梯度润滑层中N原子的百分含量由靠近基体至远离基体的方向呈梯度增加。

2.如权利要求1所述的被覆件，其特征在于：所述梯度润滑层的厚度为0.7～3.0μm。

3.如权利要求1或2所述的被覆件，其特征在于：所述梯度润滑层通过电弧离子镀膜法形成。

4.如权利要求1所述的被覆件，其特征在于：所述被覆件还包括形成于所述基体与所述梯度润滑层之间的结合层，该结合层为TiAl层，其通过电弧离子镀膜法制成。

5.如权利要求4所述的被覆件，其特征在于：所述结合层的厚度为50～200nm。

6.一种被覆件的制造方法，其包括如下步骤：

提供基体；

以氮气为反应气体，采用钛铝复合靶及钼靶为靶材，通过电弧离子镀膜法于该基体的表面形成梯度润滑层，所述梯度润滑层中N原子的百分含量由靠近基体至远离基体的方向呈梯度增加。

7.如权利要求6所述的被覆件的制造方法，其特征在于：电弧离子镀膜形成所述梯度润滑层的工艺参数为：以氩气为工作气体，其流量为200～300sccm，设置氮气的初始流量为20～30sccm，于基体上施加-100～-400V的偏压，设置钛铝复合靶材及钼靶的电源功率分别为1～15kw、0.5～5kw；每沉积5～15min分别增大氮气的流量20～30sccm，沉积时间为60～120min。

8.如权利要求6或7所述的被覆件的制造方法，其特征在于：所述钛铝复合靶中钛的质量百分含量为50～75％。

9.如权利要求6所述的被覆件的制造方法，其特征在于：所述被覆件的制造方法还包括在形成所述梯度润滑层之前，于所述基体的表面通过电弧离子镀膜法形成结合层的步骤。

10.如权利要求9所述的被覆件的制造方法，其特征在于：该结合层为TiAl层，沉积所述结合层的工艺参数为：以钛铝复合靶为靶材，设置其电源功率为1～15kw，于基体上施加-100～-400V的偏压，以氩气为工作气体，其流量为200～300sccm，电弧离子镀膜的温度为200～450℃，沉积时间为5～10min。