[发明专利]面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法

权利要求书

1.一种面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于包括以下步骤：

对集束半导体设备中的各个功能进行划分，根据不同功能构造出相应的功能模块，即负责传片腔内部所有部件操作的传片腔模块，负责反应腔内部所有部件操作的反应腔模块以及对上述传片腔模块和反应腔模块进行管理的调度模块；生成命令分派表和参数分派表；

对集束半导体设备接收到的外部命令根据命令分派表和参数分派表进行解析，确定应由哪个功能模块处理该命令；

负责处理该命令的功能模块根据当前状态，独自执行、在其他功能模块的配合下执行或不执行该命令；

将独自执行、在其他功能模块的配合下执行命令的结果统一返回给命令发出者，完成本次反应腔和传片腔功能调用。

2.按权利要求1所述的面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于：处理该命令的功能模块根据当前状态，独自执行命令时，则需判断处理该命令的功能模块是否为空闲状态，如为空闲状态，则判断是否需要其他模块配合执行，如不需要其他模块配合执行，则由该功能模块处理该命令。

3.按权利要求2所述的面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于：如果上述功能模块不为空闲状态，则命令执行失败。

4.按权利要求1或2所述的面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于：处理该命令的功能模块根据当前状态，需要在其他功能模块的配合下执行时，则需判断其他功能模块的状态是否为空闲，如果为空闲状态，则两个功能模块配合执行命令，将命令执行结果统一返回给命令发出者，完成本次反应腔和传片腔功能调用步骤。

5.按权利要求4所述的面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于：如果其他功能模块不为空闲状态，则此次命令执行失败，结束此次命令处理。

6.按权利要求1所述的面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于所述对集束半导体设备接收到的外部命令进行解析包括以下步骤：

在各功能模块中预先定义控制命令的格式，格式包括命令名称和参数表两部分；

将集束半导体设备接收到的外部命令按预先定义的控制命令格式分为命令名称和参数表两部分，分别生成命令名称分派表和关键参数分派表；

调度模块接收到控制命令后对命令进行解析，分解出命令名称和参数表中的参数。

7.按权利要求1所述的面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于：所述确定应由哪个功能模块处理该命令为：调度模块接收到来自用户的命令后，根据命令名称分派表，判断能否确定命令的目标模块；如果能确定命令的目标模块，则将命令传递给目标模块。

8.按权利要求7所述的面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于：如果根据命令名称分派表不能确定目标模块，则根据查找命令分派表，判断能否确定命令的目标模块；如果能确定命令的目标模块，则将命令传递给目标模块。

9.按权利要求8所述的面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法，其特征在于：如果根据参数分派表不能确定目标模块，则此命令为非法命令，命令执行失败。