[发明专利]汽相沉积装置和使用其制造有机发光显示装置的方法

权利要求书

1.一种汽相沉积装置，包括：

被配置为容纳汽相沉积源的罐，所述罐包括彼此相对的气体入口和气体出口；

被配置为对所述罐进行加热的加热器；

与所述罐流体连通的室，所述室被配置为容纳汽相沉积对象；以及

载气供给单元，被配置为将载气供给到所述罐中。

2.根据权利要求1所述的汽相沉积装置，其中所述载气供给单元包括位于所述罐内的旋管，所述载气被配置为在通过所述气体入口被注入所述罐中之前通过所述旋管。

3.根据权利要求2所述的汽相沉积装置，其中所述旋管具有螺旋形。

4.根据权利要求3所述的汽相沉积装置，其中所述旋管具有向所述气体入口逐渐减小的直径。

5.根据权利要求2所述的汽相沉积装置，其中所述旋管是热交换器。

6.根据权利要求2所述的汽相沉积装置，其中所述整个旋管位于所述罐内。

7.根据权利要求6所述的汽相沉积装置，其中所述旋管被连接在所述气体入口和载气储存单元之间。

8.根据权利要求1所述的汽相沉积装置，其中所述载气包括氩气。

9.根据权利要求1所述的汽相沉积装置，其中所述汽相沉积源为粉末状态。

10.根据权利要求1所述的汽相沉积装置，其中所述气体入口和所述气体出口沿穿过所述罐的同一轴被对准。

11.根据权利要求1所述的汽相沉积装置，其中所述气体入口和所述气体出口位于所述罐的相对侧上。

12.一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：

将汽相沉积源放入罐中，所述罐包括彼此相对的气体入口和气体出口；

将汽相沉积对象放入室中，所述室与所述罐流体连通；

使用加热器对所述罐进行加热，使得所述汽相沉积源被升华；

由载气供给单元通过所述气体入口将载气注入所述罐中，使得所述载气携带着所升华的汽相沉积源通过所述气体出口进入所述室中，以被沉积到所述汽相沉积对象上；并且

在所述汽相沉积对象上沉积所述汽相沉积源后，使用所述汽相沉积对象作为所述有机发光显示装置中的薄膜晶体管的半导体层。

13.根据权利要求12所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述汽相沉积对象是非晶硅，并且所述汽相沉积源是金属催化剂粉末。

14.根据权利要求13所述的制造有机发光显示装置的方法，进一步包括：执行热退火，使得所沉积的金属催化剂粉末被弥散到所述非晶硅中并在所述非晶硅中被结晶化。

15.根据权利要求13所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述金属催化剂粉末包括镍粉末。

16.根据权利要求12所述的制造有机发光显示装置的方法，其中将载气注入到所述罐中包括：引导所述载气通过旋管，使得所述载气在通过所述气体入口被注入所述罐中之前在所述罐内流通经过所述旋管。

17.根据权利要求16所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述旋管被形成为具有螺旋形。

18.根据权利要求17所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述旋管被形成为具有向所述气体入口减小的直径的圆锥体。

19.根据权利要求16所述的制造有机发光显示装置的方法，其中引导所述载气通过所述旋管包括：在所述载气经过所述旋管时，由所述加热器产生的热对所述载气进行预加热。

20.根据权利要求12所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述载气包括氩气。