[发明专利]薄膜型探针单元及其制造方法和使用其测试对象的方法

说明书

发明背景

发明领域

本发明一般地涉及薄膜型探针单元及其制造方法和使用其测试测试对象的方法，尤其涉及用于在驱动IC的、以微小间距排列的、向其施加不同信号的导线之间形成裕量(margin)以向测试对象施加精确信号的薄膜型探针单元及其制造方法和测试测试对象的方法。

背景技术

一般而言，在平板显示设备或半导体(下文中称作“测试对象”)的制造过程中要进行若干次电测试。

例如，液晶显示面板通过在薄膜晶体管基板和彩色滤光器基板之间注入液晶的单元工艺、向该单元附连具有驱动IC的集成电路薄膜的模块工艺、以及向该模块安装框架的装配工艺来制造。在模块工艺之前要对单元进行电测试。

更具体地，以在驱动IC附连到单元连接区之前，将单元连接区的电极电连接至驱动IC的状态下，通过向电极施加信号来执行电测试，并且将无异常的单元传送至模块工艺。

为了执行电测试，使用探针单元。刀片式探针被广泛使用。现有刀片式探针单元包括探针单元、印刷电路板(PCB)、柔性印刷电路(FPC)、连接至FPC的驱动IC、将驱动IC的导线与单元(测试对象)电极电连接的刀片。

即，刀片式探针单元是通过将刀片临时插入到最终会互连的测试对象的电极和驱动IC之间、并通过向电极施加信号来测试测试对象的测试设备。这样做有可能丢失信号，即，所施加的信号可能没有传输到测试对象的电极。此外，刀片必须作为单独的部分制造，并且必须以微小间距排列。

为了克服上述问题，本申请人已开发了薄膜型探针单元(韩国专利KR720378)。参考图1，薄膜型探针单元1包括探针块10、驱动IC 20、以及FPC 40。按压构件30附连于驱动IC 20的一侧。PCB(未示出)电连接至FPC 40的另一侧。即，薄膜型探针单元1采用驱动IC 20与测试对象的连接区直接接触，而非插入刀片。这样做则可克服上述问题。参考图4，驱动IC 20配置成使芯片22安装于绝缘基板21上，接触测试对象的连接区130的电极的导线23制做在芯片22的两侧，且在另一侧制做导线24电连接至FPC。特别地，当制造驱动IC时，所形成的驱动IC的导线23的间距窄于测试对象电极的间距。因而要求加宽导线23的间距使其等于电极的间距。

同时，将参考图2描述一般的液晶显示面板100。如图所示，液晶显示面板100通过在TFT基板110和彩色滤光器基板120间注入液品来构造，并且包括与探针单元接触的连接区130。

将参考图3详细描述连接区130。连接区130包括彩色输入单元(信道单元)132和形成在彩色输入单元132的两侧的电源单元(Mont Blanc连接区)134。彩色输入单元132包括多个R、G、B电极，而电源单元134包括经其施加不同信号的多个电极a～1。

图4是利用薄膜型探针单元测试液晶显示面板的示意图。如图所示，驱动IC 20的导线23接触电源单元134的第一至第十二电极a～1。在这种情况下，不同信号分别施加于第一至第十二电极a～1，从而对液晶显示面板进行电测试。即，一个信号施加于一个电极，而且在相邻电极上施加不同于所施加的信号的信号。

此外，如图所示，多条导线可以接触一个电极。例如，6条导线23a接触第六电极f。这种情况下，向接触一个电极的导线施加相同信号。

然而，因为电极a～1以及导线按微小间距形成，电极a～1的及导线间的裕量非常窄。因此，导线必须仅接触驱动IC的相应电极，但是可能接触到在一组导线与另一组导线之间的界面处是相邻电极。

例如，所有6条导线23a必须仅接触第六电极f，但是导线23a中最左边的导线23a’可能接触到置于第六电极f左侧处的第五电极e。导线23a的最右边的导线23a”可能接触到置于第六电极f右侧处的第七电极g。

在这种情况下，向第六电极f施加的信号也施加至第五电极e或者第七电极g。这样，当施加信号有误时，探针单元和/或液晶显示面板可能严重受损。此外，不同信号可能相互重叠从而导致电短路。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而做出的，且本发明提供一种通过在驱动IC的、按微小间距形成的、施加不同信号的导线之间形成足够裕量来精确地向测试对象电极施加信号的薄膜型探针单元及其制造方法和测试测试对象的方法。

根据本发明的诸方面，提供一种通过接触驱动IC中形成的用于以测试对象电极驱动该测试对象的导线来测试测试对象的薄膜型探针单元，该薄膜型探针单元包括：诸导线中的任意一条做成与电极无电接触的虚设导线。

虚设导线包括施加相同信号的导线中的任意一条。