[发明专利]受保护的聚合物的去保护方法

权利要求书

1.一种使受保护的聚合物去保护的方法，至少包括在有机溶剂中溶解所述受保护的聚合物和去保护试剂以使所述受保护的聚合物去保护的步骤，所述受保护的聚合物至少包含具有用酰基保护的酚羟基的单元结构，所述去保护试剂选自由各自具有1.00以下的ClogP值的伯胺化合物和仲胺化合物组成的组，条件是在所述仲胺化合物中，耦合至氨基氮原子的两个碳原子的任一个都不是三代的。

2.根据权利要求1所述的使受保护的聚合物去保护的方法，其中所述伯胺化合物和仲胺化合物由式(1)表示：

HNR¹_2-nR²_n            (1)

其中R¹表示氢原子或直链、支链或环状C_1-6烷基，R²独立地表示包含至少一个氧原子或至少一个氮原子的直链、支链或环状C_2-7烷基，两个R²可彼此耦合以形成包含至少一个氧原子和/或至少一个氮原子的环状结构，并且n代表1或2。

3.根据权利要求2所述的使受保护的聚合物去保护的方法，其中在所述式(1)中的部分或所有R²_n具有由下式(2)表示的结构：

其中R³，R⁴，R⁵，R⁶，R⁷和R⁸各自独立地表示氢原子或C_1-4烷基，X表示羟基、氨基或烷氨基，m代表0或1，并且(N)为表示连接至R²的氮原子的连接位点的符号。

4.根据权利要求1至3任一项所述的使受保护的聚合物去保护的方法，其中所述受保护的聚合物进一步包含具有源自脂肪族醇的酯结构的单元结构。

5.一种生产用于化学放大型抗蚀剂的基础聚合物的方法，包括进行如权利要求1至4任一项所述的去保护的方法的步骤。